[实用新型]一种多晶硅坩埚磨削加工卡紧装置

权利要求书

1.一种多晶硅坩埚磨削加工卡紧装置，其特征在于，包括坩埚本体（1）、第一磁极块（2）、第二磁极块（3）和拆卸螺栓（4），所述第一磁极块（2）和所述第二磁极块（3）为磁性材料，所述第一磁极块（2）和所述第二磁极块（3）可吸合连接，所述第一磁极块（2）和所述第二磁极块（3）配合后形成一空腔，所述空腔的尺寸与成型后坩埚尺寸相同，所述第一磁极块（2）固定在机床主轴上，所述第二磁极块（3）与所述坩埚本体（1）活动链接，所述第二磁极块（3）与所述坩埚本体（1）间通过所述拆卸螺栓（4）固定。

2.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚磨削加工卡紧装置，其特征在于，所述第一磁极块（2）和所述第二磁极块（3）上均设有刻度值。

3.根据权利要求2所述的多晶硅坩埚磨削加工卡紧装置，其特征在于，所述拆卸螺栓（4）的数量为两个或多个。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的多晶硅坩埚磨削加工卡紧装置，其特征在于，所述坩埚本体（1）为长方体容器，所述坩埚本体（1）的长度范围为2-3m，宽度范围为0.5-1m。

5.根据权利要求4所述的多晶硅坩埚磨削加工卡紧装置，其特征在于，所述所述第一磁极块（2）焊接在机床主轴上。