[实用新型]芯片甩干机

说明书

技术领域：

本实用新型属于LED芯片制作装备领域，涉及一种LED芯片冲洗甩干烘干的装置，尤其是一种能实现多品种兼容的多工位双头晶圆片冲洗甩干烘干的设备。

背景技术：

目前国内市场上的芯片甩干机，均为单品种单工位的甩干机；而这样不仅存在设备雷同投资增加生产成本，生产效率较低的问题，同时也不利于生产中节能环保。

实用新型内容：

为了克服现有芯片甩干机存在的以上问题，本实用新型提供了一种能实现多品种兼容的多工位双头晶圆片冲洗甩干烘干的设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：芯片甩干机包括机架(1)、旋转架(2)、联轴器(3)、电机(4)、甩干桶(5)、喷淋装置(6)、热氮吹干装置(7)、控制系统(8)、除静电装置(9)、检测装置(10)和排水系统(11)；所述设备机架(1)上方设置有控制系统(8)；所述设备机架(1)后方设置有检测装置(10)和排水系统(11)；所述设备机架(1)内部设置有甩干桶(5)、喷淋装置(6)、除静电装置(9)、旋转架(2)、联轴器(3)、电机(4)和热氮吹干装置(7)。旋转架(2)为两种型号的部件，且均可与联轴器(3)配合安装。电机(4)根据控制系统及触摸屏的指令，以变换的工艺要求速度驱动旋转架(2)旋转。本实用新型采用变频技术及动平衡技术，使得甩干桶内可兼容安装多种型号的多工位旋转架，并保障在高低速工作状态下旋转架及整机无振动低噪音。

本实用新型的有益效果是：甩干桶内可兼容安装多种型号的晶圆盒旋转架，并且一个旋转架中可安装多个晶圆盒；在高低速工作状态下旋转架及整机无振动低噪音。

附图说明：

图1为本实用新型芯片甩干机的结构示意图；

图2为本实用新型芯片甩干机的左视图。

其中1为机架、2为旋转架、3为联轴器、4为电机、5为甩干桶、6为喷淋装置、7为热氮吹干装置、8为控制系统、9为除静电装置、10为检测装置、11为排水系统。

具体实施方式：

下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述：

如图1和图2所示，所述设备机架(1)上方设置有控制系统(8)，控制系统(8)包括触摸屏及PLC等，操作人员可以在触摸屏上根据等级权限设置工艺参数及选择工艺流程；所述设备机架(1)后方设置有检测装置(10)和排水系统(11)，当检测不合格时蜂鸣器报警设备根据预设的不同工艺流程运行；所述设备机架(1)内部设置有甩干桶(5)，甩干桶(5)内安装有喷淋装置(6)、除静电装置(9)、旋转架(2)和热氮吹干装置(7)。当操作人员将芯片盒安装进旋转架(2)后，启动设备，设备自动检测到甩干桶门闭合水压气压正常之后，电机(4)驱动联轴器(3)及旋转架(2)按照预设工艺参数运行，同时甩干桶(5)内的喷淋装置(6)喷淋冲洗；冲洗工艺完成后检测装置(10)对排水检测，合格后电机(4)高速旋转旋转架(2)甩干，热氮吹干装置(7)向甩干桶(5)内吹热氮，同时除静电装置(9)启动。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施方式仅限于此，对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单的推演或替换，都应当视为属于本发明由所提交的权利要求书确定专利保护范围。