[实用新型]基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备

权利要求书

1.一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备，其特征在于：包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置，机架内部设置有扩散泵，所述机架一侧设置有电控机构，所述电控机构一侧设置有机械泵，所述机架上方设置有真空室，所述真空室内部设置有挡油板，所述挡油板上方设置有蒸发源，所述蒸发源连接着所述蒸发电极，所述蒸发源上方设置有挡板，所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极，所述挡板上方设置有基片，所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。

2.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备，其特征在于：所述扩散泵安装在所述机架内部，所述电控机构与所述机架连接。

3.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备，其特征在于：所述机械泵与所述电控机构连接，所述真空室与所述机架连接。

4.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备，其特征在于：所述蒸发源与所述蒸发电极连接，所述蒸发源和所述基片之间适当位置安装有所述挡板。

5.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备，其特征在于：所述挡油板安装在所述蒸发源下方，所述基片烘烤加热装置安装在所述基片上方。