[实用新型]惰性气体纯化器有效
| 申请号： | 201520634101.4 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN204917973U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 先普半导体技术(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00;B01D53/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201100 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 惰性气体 纯化 | ||
【权利要求书】：
1.惰性气体纯化器，包括纯化器本体、加热装置，纯化器本体顶部设有气体输入管道，纯化器本体底部设有气体输出管道，其特征在于，所述加热装置为陶瓷加热圈，陶瓷加热圈安装在纯化器本体侧壁外缘，陶瓷加热圈外部设置有一圈绝热棉，绝热棉外部设置有纯化罐外壳。
2.根据权利要求1所述的惰性气体纯化器，其特征在于，所述绝热棉和纯化罐外壳之间设置有一圈真空间隙，真空间隙的单边间距为32~48毫米。
3.根据权利要求1所述的惰性气体纯化器，其特征在于，所述绝热棉外缘设有一层保温材料，保温材料为铝箔。
4.根据权利要求1所述的惰性气体纯化器，其特征在于，还包括传感器接管道，传感器接管道一端伸入纯化器本体内腔之中，传感器接管道另一端外露在纯化罐外壳外部。
5.根据权利要求4所述的惰性气体纯化器，其特征在于，所述纯化器本体上至少有一个传感器连接管道。
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