[实用新型]一种LED衬底

权利要求书

1.一种LED衬底，其特征在于，包括：

支撑衬底；

设置于所述支撑衬底上并与LED外延层晶体结构相同的晶格匹配层；

设置于所述晶格匹配层内的图形化结构；以及

设置于所述晶格匹配层上的图形化结构；

其中，所述晶格匹配层内的图形化结构与所述晶格匹配层上的图形化结构相互错开设置。

2.如权利要求1所述的LED衬底，其特征在于，所述晶格匹配层内的图形化结构与所述晶格匹配层上的图形化结构在所述支撑衬底上表面的正投影并集至少部分覆盖所述支撑衬底的上表面。

3.如权利要求2所述的LED衬底，其特征在于，所述晶格匹配层内的图形化结构与所述晶格匹配层上的图形化结构在所述支撑衬底上表面的正投影并集完全覆盖所述支撑衬底的上表面。

4.如权利要求1所述的LED衬底，其特征在于，设置于所述晶格匹配层内的图形化结构的数量为一层。

5.如权利要求1所述的LED衬底，其特征在于，设置于所述晶格匹配层内的图形化结构的数量为多层，并且所述晶格匹配层内的多层图形化结构相互错开设置。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的LED衬底，其特征在于，设置于所述晶格匹配层内的图形化结构为阵列排布的柱状凸起，或者，设置于所述晶格匹配层内的图形化结构为具有阵列排布的柱状空洞的介质层。

7.如权利要求6所述的LED衬底，其特征在于，所述柱状凸起为圆柱状凸起、椭圆柱状凸起或多棱柱状凸起，所述柱状空洞为圆柱状空洞、椭圆柱状空洞或多棱柱状空洞。

8.如权利要求1至5中任意一项所述的LED衬底，其特征在于，设置于所述晶格匹配层上的图形化结构为阵列排布的柱状凸起，或者，设置于所述晶格匹配层上的图形化结构为具有阵列排布的柱状空洞的介质层。

9.如权利要求8所述的LED衬底，其特征在于，所述柱状凸起为圆柱状凸起、椭圆柱状凸起或多棱柱状凸起，所述柱状空洞为圆柱状空洞、椭圆柱状空洞或多棱柱状空洞。

10.如权利要求1至5中任意一项所述的LED衬底，其特征在于，设置于所述晶格匹配层上的图形化结构为阵列排布的台状凸起，或者，设置于所述晶格匹配层上的图形化结构为具有阵列排布的台状空洞的介质层。

11.如权利要求10所述的LED衬底，其特征在于，所述台状凸起为圆台状凸起、椭圆台状凸起或多棱台状凸起，所述台状空洞为圆台状空洞、椭圆台状空洞或多棱台状空洞。

12.如权利要求1至5中任意一项所述的LED衬底，其特征在于，设置于所述晶格匹配层上的图形化结构为阵列排布的锥状凸起，或者，设置于所述晶格匹配层上的图形化结构为具有阵列排布的锥状空洞的介质层。

13.如权利要求12所述的LED衬底，其特征在于，所述锥状凸起为圆锥状凸起、椭圆锥状凸起或多棱锥状凸起，所述锥状空洞为圆锥状空洞、椭圆锥状空洞或多棱锥状空洞。

14.如权利要求1至5中任意一项所述的LED衬底，其特征在于，所述LED外延层为氮化镓，所述晶格匹配层为氮化镓或者氮化铝。

15.如权利要求1至5中任意一项所述的LED衬底，其特征在于，所述晶格匹配层内的图形化结构和晶格匹配层上的图形化结构的材质为二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化钛、氮化钛、氮氧化钛、氧化锌中的一种。