[实用新型]一种真空喷涂旋转靶材的行走机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及涂旋转靶材技术领域，特别涉及一种真空喷涂旋转靶材的行走机构。

背景技术

真空喷涂旋转靶材过程中，靶材和喷枪都位于真空罐体内，喷枪和旋转靶材自己必须产生水平相对移动来完成喷涂工艺，而这种水平相对移动就要通过行走机构来实现。现有的行走机构是通过伺服电机带动链条后，链条带动枪架，从而使得喷枪随着进行水平移动。由于在真空喷涂靶材的真空罐体中有大量的粉尘，粉尘会导致链条与齿轮错位，最终导致行走机构运行不稳定甚至停止行走。大大提高了真空喷涂靶材作业的异常率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是服现有技术的缺陷，提供一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，可以有效解决背景技术中的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，包括真空靶材喷涂罐体，所述的真空靶材喷涂罐体的底部设有总安装底座，总安装底座上部设有安装驱动电机的安装座，驱动电机安装在安装座的顶端，安装座的两侧设有滑轨支撑架，滑轨支撑架的上部设有滑轨，滑轨通过上部的滑槽连接移动板，移动板的顶部设有靶材支架体，移动板的两边侧与真空靶材喷涂罐体内壁之间设有隔离板，安装座的两侧设有密封板，移动板的上侧还设有刮板，刮板通过转轴固定在真空靶材喷涂罐体的侧壁上，移动板的底部中间设有与驱动电机输出轴相咬合的齿条。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述的转轴的外端连接有转动手柄。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述的滑轨为圆柱形滑轨，所述的滑槽为扣压在滑轨上的半圆形滑槽。

本实用新型所达到的有益效果是：不易受真空腔体内大量粉尘的影响而较目前的行走机构稳定性大大提高，且还可以及时清理真空腔体内的残余粉尘，保证生产质量。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1为本申请实施例的整体结构图。

图中标号：1、真空靶材喷涂罐体；2、总安装底座；3、安装座；4、滑轨支撑架；5、滑轨；6、移动板；7、靶材支架体；8、隔离板；9、密封板；10、刮板；11、转轴；12、转动手柄；13、驱动电机；14、齿条。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：如图1所示，本实用新型一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，包括真空靶材喷涂罐体1，所述的真空靶材喷涂罐体1的底部设有总安装底座2，总安装底座2上部设有安装驱动电机13的安装座3，驱动电机13安装在安装座3的顶端，安装座3的两侧设有滑轨支撑架4，滑轨支撑架4的上部设有滑轨5，滑轨5通过上部的滑槽连接移动板6，移动板6的顶部设有靶材支架体7，移动板6的两边侧与真空靶材喷涂罐体1内壁之间设有隔离板8，隔离板8可以防止上部的灰尘进入下部传动空间内，影响传动效率，安装座3的两侧设有密封板9，密封板9将传动部分密封起来，也可防止上部的灰尘进入下部传动空间内，影响传动效率，移动板6的上侧还设有刮板10，刮板10通过转轴11固定在真空靶材喷涂罐体1的侧壁上，使用一段时间之后，可以通过转轴11的转动，是的刮板10竖立起来，对移动板6上的灰尘进行清除，移动板6的底部中间设有与驱动电机13输出轴相咬合的齿条14。

其中，在本实施例中，所述的转轴11的外端连接有转动手柄12，通过转动手柄12可以改变刮板10的位置，当刮板10竖立起来之后，可以清除移动板6上的粉尘。

其中，在本实施例中，所述的滑轨5为圆柱形滑轨，所述的滑槽为扣压在滑轨5上的半圆形滑槽，使得滑动更为顺畅。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。