[实用新型]硅片清洗设备用烘干机

权利要求书

1.一种硅片清洗设备用烘干机，包括硅片清洗设备（1），其特征在于，所述硅片清洗设备（1）出料端的工作台向外延长形成烘干硅片的烘干工作台，烘干工作台外设有密封罩（2），密封罩（2）与烘干工作台形成烘干硅片的烘道，密封罩（2）的底部侧面设有出风口，密封罩（2）的顶部设有密封罩进风口（5），安装在密封罩（2）外的鼓风机（3）的出风口与密封罩进风口（5）连通，鼓风机进风口（6）与密封罩（2）的出风口连通，清洗完成后的硅片从硅片清洗设备（1）的工作台直接输送至烘干工作台上进入烘道，在鼓风机（3）的作用下快速烘干，烘干后的硅片输送至烘干工作台的另一端，完成烘干。

2.根据权利要求１所述的硅片清洗设备用烘干机，其特征在于，所述烘干工作台为输送辊道。

3.根据权利要求１所述的硅片清洗设备用烘干机，其特征在于，所述鼓风机（3）设有2台以上，沿密封罩（2）底部同一外侧设置。

4.根据权利要求3所述的硅片清洗设备用烘干机，其特征在于，沿所述密封罩（2）顶部每间隔0.5-1米设置一个密封罩进风口（5），相邻2个或3个密封罩进风口（5）用一根两端封堵的风管串联，每一根风管均与一台鼓风机出风口（4）连通。

5.根据权利要求1-4中任一权利要求所述的硅片清洗设备用烘干机，其特征在于，所述的密封罩（2）采用PVC板制成，风管为PVC管。

6.根据权利要求1所述的硅片清洗设备用烘干机，其特征在于，在鼓风机出风口（4）与密封罩进风口（5）连通的管路上设有阀门。