[实用新型]软性材料的金属移除装置有效
申请号: | 201520650878.X | 申请日: | 2015-08-26 |
公开(公告)号: | CN204945614U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 黄正忠;吴守满 | 申请(专利权)人: | 迅得机械股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/68 | 分类号: | G03F1/68;G03F1/60;G03F1/82 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李静;马强 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 软性 材料 金属 装置 | ||
1.一种软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述软性材料的金属移除装置包括:
一腔体,所述腔体的内部形成有一下腔室,所述腔体的顶部设有一开口,所述开口与所述下腔室相连通;
一转印体载台,所述转印体载台设置于所述腔体的所述下腔室内,所述转印体载台包含一置放台、一加热单元及一冷却单元,所述置放台用于承载一转印体;
一软性材料载台,所述软性材料载台设置于所述腔体的所述开口处,所述软性材料载台用以放置一软性材料,所述软性材料载台设有一透孔;以及
一上盖,所述上盖选择性地压制固定于所述软性材料载台及所述软性材料上,所述上盖与所述软性材料之间形成有一上腔室,所述上腔室能形成正压的状态。
2.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述腔体的侧壁设有一第一接头,所述第一接头用于连接抽气装置,所述腔体的侧壁设有一第二接头,所述第二接头用于连接供气装置。
3.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述置放台为一负压吸盘,所述加热单元设置于所述置放台的底部,所述冷却单元设置于所述加热单元的底部,所述冷却单元的底部设置有一阻热层。
4.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述转印体载台与一第一升降机构连接,所述第一升降机构用以驱动所述转印体载台上升及下降。
5.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述软性材料载台能开合地设置于所述腔体的所述开口处,所述软性材料载台与所述腔体之间设有密封环。
6.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述上盖包含一上盖本体及一玻璃板,所述上盖本体设有一开孔,所述玻璃板嵌设于所述上盖本体的所述开孔中。
7.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述上盖能升降地设置于所述软性材料载台的上方,所述上盖以一第二升降机构驱动升降,所述上盖与所述软性材料载台及所述软性材料之间分别设有密封环。
8.根据权利要求7所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述软性材料的金属移除装置进一步包括一移动装置,所述移动装置与所述第二升降机构及所述上盖连接,用以驱动所述第二升降机构及所述上盖沿着水平方向移动。
9.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述腔体、所述转印体载台、所述软性材料载台及所述上盖设置于一机体内。
10.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述上盖设有一第三接头,所述第三接头用于连接供气装置,能对所述上腔室供气,使所述上腔室形成正压的状态。
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G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
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