[实用新型]软性材料的金属移除装置有效

专利信息
申请号: 201520650878.X 申请日: 2015-08-26
公开(公告)号: CN204945614U 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 黄正忠;吴守满 申请(专利权)人: 迅得机械股份有限公司
主分类号: G03F1/68 分类号: G03F1/68;G03F1/60;G03F1/82
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 李静;马强
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 软性 材料 金属 装置
【权利要求书】:

1.一种软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述软性材料的金属移除装置包括:

一腔体,所述腔体的内部形成有一下腔室,所述腔体的顶部设有一开口,所述开口与所述下腔室相连通;

一转印体载台,所述转印体载台设置于所述腔体的所述下腔室内,所述转印体载台包含一置放台、一加热单元及一冷却单元,所述置放台用于承载一转印体;

一软性材料载台,所述软性材料载台设置于所述腔体的所述开口处,所述软性材料载台用以放置一软性材料,所述软性材料载台设有一透孔;以及

一上盖,所述上盖选择性地压制固定于所述软性材料载台及所述软性材料上,所述上盖与所述软性材料之间形成有一上腔室,所述上腔室能形成正压的状态。

2.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述腔体的侧壁设有一第一接头,所述第一接头用于连接抽气装置,所述腔体的侧壁设有一第二接头,所述第二接头用于连接供气装置。

3.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述置放台为一负压吸盘,所述加热单元设置于所述置放台的底部,所述冷却单元设置于所述加热单元的底部,所述冷却单元的底部设置有一阻热层。

4.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述转印体载台与一第一升降机构连接,所述第一升降机构用以驱动所述转印体载台上升及下降。

5.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述软性材料载台能开合地设置于所述腔体的所述开口处,所述软性材料载台与所述腔体之间设有密封环。

6.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述上盖包含一上盖本体及一玻璃板,所述上盖本体设有一开孔,所述玻璃板嵌设于所述上盖本体的所述开孔中。

7.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述上盖能升降地设置于所述软性材料载台的上方,所述上盖以一第二升降机构驱动升降,所述上盖与所述软性材料载台及所述软性材料之间分别设有密封环。

8.根据权利要求7所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述软性材料的金属移除装置进一步包括一移动装置,所述移动装置与所述第二升降机构及所述上盖连接,用以驱动所述第二升降机构及所述上盖沿着水平方向移动。

9.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述腔体、所述转印体载台、所述软性材料载台及所述上盖设置于一机体内。

10.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述上盖设有一第三接头,所述第三接头用于连接供气装置,能对所述上腔室供气,使所述上腔室形成正压的状态。

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