[实用新型]对温度不敏感的阵列波导光栅

权利要求书

1.一种对温度不敏感的阵列波导光栅，包括：输入星形耦合器(1)、阵列波导(2)、输出星形耦合器(3)，其中，阵列波导(2)由若干条光程长呈等差数列的波导构成，其特征在于：阵列波导(2)中所有波导或部分波导由条形波导与条形-沟道混合型波导组合而成。

2.根据权利要求1所述的阵列波导光栅，其特征在于，在所述阵列波导中每一波导包括：两段条形波导(21a)及一段条形-沟道混合型波导(21b)，且采用第一段条形波导、条形-沟道混合型波导、第二段条形波导依次级联的方式组合。

3.根据权利要求2所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述条形波导(21a)与条形-沟道混合型波导(21b)采用波导模式转换器连接。

4.根据权利要求3所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述波导模式转换器为多模干涉型波导模式转换器；

该多模干涉型波导模式转换器包括：多模波导区域、宽度渐变的条形-沟道混合型波导区域；

其中，所述多模波导区域的一端用于连接条形波导，另一端连接所述宽度渐变的沟道波导区域的一个波导端面，所述宽度渐变的条形-沟道混合型波导区域的另一波导端面用于连接条形-沟道混合型波导，所述宽度渐变的条形-沟道混合型波导区域中的沟道与所述条形-沟道混合型波导的沟道一一对应。

5.根据权利要求1所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述阵列波导光栅为非良导体材料的波导；

或者，所述阵列波导光栅为非良导体材料与金属结合的表面等离子体材料的波导。

6.根据权利要求5所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述表面等离子体材料的波导为：所述非良材料表面覆盖一层金属。

7.根据权利要求5或6所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述非良导体材料为电介质、半导体或有机物。

8.根据权利要求7所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述电介质为二氧化硅、二氧化钛或氧化镓；

和/或，所述半导体为硅、锗、氮化硅或三五族光电子化合物。

9.根据权利要求5或6所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述表面等离子体材料的波导为下述的一种：

硅的表面覆盖一层银；

硅的表面覆盖一层金；

二氧化硅的表面覆盖一层银；

二氧化硅的表面覆盖一层金。

10.根据权利要求1所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述阵列波导中任意相邻波导中所包含的两种类型波导的长度差为：ΔL^I、ΔL^II；

若用表示阵列波导第A_i根波导中包含的两种类型波导的长度，表示第A_i+1根波导中包含的两种类型波导的长度；则有li+1I-liI=ΔLI,li+1II-liII=ΔLII;]]>

其中，ΔL^I、ΔL^II与两种类型波导分别对应的有效热光系数满足ΔLI·∂neffI/∂T+ΔLII·∂neffII/∂T=0.]]>