[实用新型]一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置有效
| 申请号： | 201520654989.8 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN204854623U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张洪鑫;周昊;李靓瑶;乔玉晶 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01B9/023 | 分类号： | G01B9/023 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 液晶 空间 调制器 球面 干涉 检测 装置 | ||
1.一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置，其特征是：它包括数字相移干涉仪（1）、标准平面参考镜（2）、光阑（3）、零位补偿透镜（4）、偏振片（5）、液晶空间光调制器（6）和计算机（8）；数字相移干涉仪（1）产生的激光入射至标准平面参考镜（2），经所述标准平面参考镜（2）分成一路反射光和一路透射光；所述一路反射光经标准平面参考镜（2）反射至数字相移干涉仪（1）作为参考光；所述一路透射光入射至光阑（3），经所述光阑（3）入射至零位补偿透镜（4），经所述零位补偿透镜（4）入射至偏振片（5），经所述偏振片（5）入射至液晶空间光调制器（6），经所述液晶空间光调制器（6）反射至待检非球面镜（7），并经待检非球面（7）反射，产生测试光，所述测试光经液晶空间光调制器（6）反射，经偏振片（5）、零位补偿透镜（4）和光阑（3）入射至标准平面参考镜（2），经标准平面参考镜入射至数字相移干涉仪（1）；所述参考光与测试光干涉，干涉图像由数字相移干涉仪（1）的成像系统接收。
2.根据权利要求1所述的一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置，其特征在于它还包括计算机（8），所述计算机（8）的一号数据信号输入或输出端与液晶空间光调制器（6）的数据信号输出或输入端连接，所述计算机（8）的二号数据信号输入或输出端与数字相移干涉仪（1）的数据信号输出或输入端连接。
3.根据权利要求1所述的一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置，数字相移干涉仪（1）产生的激光，经偏振片（5）入射至液晶空间光调制器（6）的入射角小于5度。
4.根据权利要求1所述的一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置，其特征在于液晶空间光调制器（6）是电寻址反射式纯相位液晶空间光调制器。
5.根据权利要求1所述的一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置，其特征在于零位补偿透镜（4）的像方焦点与待检非球面（7）的曲率中心重合。
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