[实用新型]一种电极结构有效
| 申请号： | 201520656478.X | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN204927231U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 薛元;洪梦华 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 200241 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电极 结构 | ||
1.一种电极结构，包括相对布置的接地电极和激发电极；其特征在于，
所述激发电极经由匹配器与电源电气连接；
所述接地电极远离所述激发电极的一端设置有进气单元，并且所述接地电极设置有贯穿其的多个通孔，所述进气单元经由所述多个通孔将气体排放到所述接地电极的另一端；并且
所述接地电极靠近所述激发电极的所述另一端的端面上设置有朝向所述激发电极突出的凸起部。
2.如权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述多个通孔在所述接地电极的所述另一端的所述端面上呈阵列均匀分布，并且所述凸起部在所述接地电极的所述另一端的所述端面上规则布置。
3.如权利要求2所述的电极结构，其特征在于，所述多个通孔中的每个通孔垂直于所述接地电极的所述另一端的所述端面贯穿所述接地电极。
4.如权利要求3所述的电极结构，其特征在于，所述接地电极与所述激发电极均呈圆盘形；并且
所述凸起部为多个圆环形凸起，所述多个圆环形凸起以与所述接地电极同心的方式设置于所述接地电极的所述另一端的所述端面上，并且相邻的两个圆环形凸起的内径差均相等；并且
相邻的两个圆环形凸起之间均匀地分布所述通孔。
5.如权利要求3所述的电极结构，其特征在于，所述接地电极与所述激发电极均呈圆盘形；并且
所述凸起部为多个直线型凸起，所述多个直线型凸起彼此平行地设置于所述接地电极的所述另一端的所述端面上，并且相邻的两个直线型凸起之间的距离均相等；并且
相邻的两个直线型凸起之间均匀地分布所述通孔。
6.如权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述进气单元包括进气口以及覆盖所述接地电极的所述一端的气体缓冲区。
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