[实用新型]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，包括曝光台，其特征在于，所述曝光台包括曝光盘及导气条，所述曝光盘包括位于所述曝光盘的中部的承载区，所述曝光盘开设有的导气槽，所述导气槽位于承载区外侧；所述导气条形成有抽气槽，所述导气条固设于所述承载区且自所述承载区的边缘向所述承载区的中部延伸，所述抽气槽与所述导气槽连通。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述导气条包括基板及固定于所述基板上的至少两个盖板，所述至少两个盖板间隔设置以形成所述抽气槽。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述盖板与所述基板铆接、焊接、黏接或螺接。

4.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述基板及盖板的横截面均为矩形。

5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述盖板的长度与所述基板的长度相等，所述盖板的宽度为所述基板的宽度的10～40％，所述盖板的厚度为所述基板的厚度的70～130％。

6.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述盖板的横截面为梯形，且相邻的两个盖板的斜面相对设置。

7.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述导气条靠近所述导气槽的一端的端面与所述导气槽的槽壁平齐。

8.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述导气槽有多个，多个导气槽均匀分布在所述承载区的外侧，所述曝光盘还开设有导气孔，相邻的两个导气槽通过导气孔连通。

9.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述导气条远离所述承载区的表面设有压花。

10.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述导气条远离承载区的一侧表面向内凹陷形成所述抽气槽。