[实用新型]一种用于扩散炉的气源柜机架有效
| 申请号： | 201520659089.2 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN204939660U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 常红旺;周湘源 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 柜机 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，包括：
恒温槽区（1），其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；
气路区（2），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区（1）紧邻，气路区（2）通过封板与恒温槽区（1）隔开；
电器元器件区（3），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区（3）通过封板与恒温槽区（1）、气路区（2）隔开；
电源区（4），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区（3）相邻；
石英器件区（5），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区（5）通过封板与气路区（2）、电器元器件区（3）、电源区（4）隔开。
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，所述恒温槽区（1）设有多个恒温槽，每个恒温槽是一个独立的空间；恒温槽区的背面炉尾设有抽风管（6）。
3.根据权利要求1所述的用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，所述石英器件区（5）炉尾设有抽风管。
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