[实用新型]流体非接触式操纵装置

权利要求书

1.一种流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述流体非接触式操纵装置包括：

至少一个流体来源；以及

流体分布元件，其包括：

(a)外表面，所述外表面配置成朝向待通过操纵装置进行操纵的制品的表面，所述外表面包括中心表面和围绕所述中心表面的周边表面；

(b)第一流体端口，所述第一流体端口与所述至少一个流体来源流体连通并且配置成将第一流体流分配通过周边腔，所述周边腔限定在所述周边表面与所述制品的表面之间，从而产生伯努利效应以将所述制品吸引到所述流体分布元件，同时维持所述制品的表面与所述流体分布元件的周边表面之间的最小间隙；以及

(c)第二流体端口，所述第二流体端口与所述至少一个流体来源流体连通并且配置成将第二流体流分配进入到中心腔中，所述中心腔限定在所述中心表面与所述制品的表面之间，从而用流体填充所述中心腔。

2.如权利要求1所述的流体非接触式操纵装置，所述流体非接触式操纵装置还包括流体压力调节器，其配置成控制所述第一流体流和第二流体流中的至少一个的流体压力。

3.如权利要求2所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述流体压力调节器配置成使得所述第二流体流的压力低于所述第一流体流。

4.如权利要求1所述的流体非接触式操纵装置，所述流体非接触式操纵装置还包括控制器，其配置成改变所述第一流体流和第二流体流中的至少一个的预定特性。

5.如权利要求1所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述第二流体端口包括开口，所述开口由所述流体分布元件的中心表面限定。

6.如权利要求1所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述第一流体端口的开口围绕所述流体分布元件的中心表面。

7.如权利要求1所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述流体分布元件包括限定了所述周边表面的周边元件以及限定了所述中心表面的中心罩，相对于所述周边元件安装所述中心罩。

8.如权利要求7所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述第二流体端口包括开口，所述开口由所述中心罩的中心表面限定。

9.如权利要求7所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述第一流体端口的开口限定在所述周边元件和所述中心罩之间。

10.如权利要求7所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述第一流体端口的开口围绕所述中心罩的中心表面。

11.如权利要求1所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述至少一个流体来源还包括第一流体来源和第二流体来源，所述第一流体端口与所述第一流体来源流体连通，所述第二流体端口与所述第二流体来源流体连通。

12.如权利要求11所述的流体非接触式操纵装置，其特征在于，所述第一和第二流体来源是不同的。