[实用新型]一种二氧化碳气体超微流速控制系统

权利要求书

1.一种二氧化碳气体超微流速控制系统，包括单向阀、离子源与质量流量计，其特征在于：所述单向阀的进口处设有二氧化碳进气管，单向阀的出口处设有第一三通阀，所述质量流量计与第一三通阀的另一侧相连，质量流量计的另一侧设有氦气进气管，第一三通阀的最后一侧设有精确控温冷阱，精确控温冷阱包括冷阱与液氮保温箱，其中冷阱位于液氮保温箱内，精确控温冷阱的另一侧设有第二三通阀，第二三通阀的另外两侧分别设有真空系统与所述离子源。

2.根据权利要求1所述一种二氧化碳气体超微流速控制系统，其特征在于：所述冷阱的两侧分别设有进气口与出气口，所述第一三通阀与进气口相连，第二三通阀与出气口相连。

3.根据权利要求1所述一种二氧化碳气体超微流速控制系统，其特征在于：所述第二三通阀连接在离子源的头部。

4.根据权利要求1所述一种二氧化碳气体超微流速控制系统，其特征在于：所述第一三通阀与所述单向阀之间设有针阀。

5.根据权利要求4所述一种二氧化碳气体超微流速控制系统，其特征在于：所述针阀上设有备用气管接口。

6.根据权利要求1所述一种二氧化碳气体超微流速控制系统，其特征在于：所述真空系统包括真空泵、PLC控制器、储气罐与真空阀门，其中真空阀门位于真空泵与所述第二三通阀之间，PLC控制器与真空泵相连，储气罐连接在真空泵的出口处。