[实用新型]一种低压扩散炉有效
| 申请号： | 201520667229.0 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN205011866U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 王俊朝;李学文;李军阳;向文山;刘兵吉 | 申请（专利权）人： | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低压 扩散 | ||
1.一种低压扩散炉，包括石英管、石英管端口法兰和置于石英管端口法兰外侧的炉门机构，该石英管的一端设有石英管口，该石英管端口法兰设置在石英管口上，其特征在于，该炉门机构包括：
石英炉门；
冷却法兰，其嵌入石英炉门中，该冷却法兰与石英炉门的结合处设有一密封圈槽，该冷却法兰包括一与密封圈槽靠近的环形冷却管道，该环形冷却管道中通入冷却液；
密封圈，其设置在密封圈槽内且部分突出，其用于在石英炉门与石英管端口法兰闭合时抵靠在石英管端口法兰的外侧面，使低压扩散炉内形成密封空间。
2.根据权利要求所述1的低压扩散炉，其特征在于：该石英炉门包括炉门主体和设置在炉门主体上的凸台，该冷却法兰设置在炉门主体上，该炉门主体的端面与石英管端口法兰的外侧面抵靠，该凸台与石英管端口法兰的端口配合。
3.根据权利要求所述2的低压扩散炉，其特征在于：该密封圈槽为燕尾槽，该密封圈槽的槽口与炉门主体的端面处于同一平面。
4.根据权利要求所述2的低压扩散炉，其特征在于：该石英炉门包括一隔热层。
5.根据权利要求所述1的低压扩散炉，其特征在于：该冷却法兰还包括与环形冷却管道连通的进液端和出液端。
6.根据权利要求所述5的低压扩散炉，其特征在于：该进液端和出液端邻近设置，该环形冷却管道包括设置在进液端的端口和出液端的端口之间的隔液板。
7.根据权利要求所述1的低压扩散炉，其特征在于：还包括一用于驱动炉门机构的驱动机构，该炉门机构包括一与驱动机构连接的固定支架，该固定支架与石英炉门固定连接。
8.根据权利要求所述7的低压扩散炉，其特征在于：该炉门机构还包括一固定法兰，该固定法兰分别与石英炉门和固定支架连接。
9.根据权利要求所述1的低压扩散炉，其特征在于：该炉门机构还包括设置在石英炉门和冷却法兰之间的缓冲垫片。
10.根据权利要求所述9的低压扩散炉，其特征在于：该炉门机构还包括用于联接石英炉门、冷却法兰和缓冲垫片的固定杆。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳丰盛装备股份有限公司，未经深圳丰盛装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520667229.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于扩散炉的进出舟装置
- 下一篇：一种多晶硅铸锭炉溢流保护结构
