[实用新型]一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱有效
| 申请号： | 201520678089.7 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN204974593U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 郑王海;汪新平;王文广 | 申请（专利权）人： | 浙江晟辉科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 浙江翔隆专利事务所(普通合伙) 33206 | 代理人： | 钱震 |
| 地址： | 324300 浙江省衢州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 多晶 超声波 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱，包括箱体、超声振子、箱口回水槽、格状架子、回流孔、盖子及手柄，其特征在于所述超声振子位于箱体的底部的夹层里，箱口设有箱口回水槽、回水槽上设有两个回流孔，所述格状架子安装在箱体底部上，所述箱体上设有盖子，盖子上设有手柄。
2.根据权利要求1所述一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱，其特征在于所述格状架子的规格根据硅棒的大小设计。
3.根据权利要求1所述一种用于清洗多晶硅棒的超声波清洗箱，其特征在于所述格状架子采用耐酸碱材料制成。
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