[实用新型]一种单晶炉用直线导轨测径仪

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，特别涉及一种单晶炉用直线导轨测径仪。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。单晶成型后，一般采用外带测径仪测取其单晶的直径。

现有技术是在单晶炉观察窗口安装电子数显测径仪来测量单晶硅棒直径。现有的技术测量过程中不稳定、容易松动使得测量存在误差、安装不牢靠、标尺变形等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是开发一种直线导轨式单晶炉用测径仪，解决了传统电子标尺滑动过程中不稳定，长时间使用后标尺变形，影响测量精度的问题。主要由基座、直线导轨、标尺、滑块以及镜头几部分组成。

具体的方案为：一种单晶炉用直线导轨测径仪，包括

一测径仪基座，

测径仪基座上设置有直线导轨，直线导轨上设置有标尺,滑块安装在直线导轨上并沿直线导轨运动，滑块上还固定有光学镜头。

如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述直线导轨用沉头螺丝固定在测径仪基座上；

如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述光学镜头的支架与滑块通过焊接固定在一起；

如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述滑块与标尺之间在垂直方向上有设定有3～5mm距离；

如上所述的一种单晶炉用直线导轨测径仪，所述测径仪基座水平两端设置有测径仪基座固定孔；

本实用新型在基座上设有标尺及直线导轨，将镜头安装在滑块上，通过直线导轨上的滑块进行滑动，从而读出准确的数据，既便于操作，又增强了直尺的稳定性，防止直尺变形，从而提高测量精度。

说明书附图

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做详细说明。

参照图1，各个部件的名称为：

测径仪基座固定孔1滑块2

光学镜头3测径仪基座4

直线导轨5标尺6

沉头螺丝7

在使用时，测径仪基座4置于单晶炉主观察窗之上，两端均有基座固定螺丝，用基座固定螺丝安装在测径仪基座固定孔1固定后，测径仪基座4不会再左右晃动。直线导轨5用沉头螺丝7固定在测径仪基座4上，光学镜头3与滑块2焊接在一起。滑块2可以在直线导轨5上来回滑动自如，解决了数显测径仪滑块在标尺上滑动不灵活的问题。滑块2与标尺6之间在垂直方向上有一定距离，解决了数显测径仪标尺长时间承重变形的问题。通过光学镜头3定位单晶硅棒左右两条切线，滑块2滑动的位移来计算测量单晶硅棒的直径。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。