[实用新型]用于区熔炉的单晶夹持机构有效
申请号: | 201520683730.6 | 申请日: | 2015-09-06 |
公开(公告)号: | CN204874812U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 王晓婧;路伟;石春梅;王真;甘小莎;马钰清;解坤 | 申请(专利权)人: | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 宋秀珍 |
地址: | 710006 陕西省咸阳*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 熔炉 夹持 机构 | ||
1.用于区熔炉的单晶夹持机构,具有均匀排布于区熔炉内支持器本体(1)一周的支撑触头(2)和支撑固定模块(3),其特征在于:所述支撑固定模块(3)内部两侧均设有通孔(31)和定位孔(32),所述支撑触头(2)上均匀设有多个卡槽(21),所述支撑触头(2)通过与通孔(31)适配对支撑固定模块(3)进行支撑,固定螺钉(4)一端穿过定位孔(32)后与支撑触头(2)上的卡槽(21)卡合。
2.根据权利要求1所述的用于区熔炉的单晶夹持机构,其特征在于:所述支撑固定模块(3)上的定位孔(32)与通孔(31)垂直连通。
3.根据权利要求1或2所述的用于区熔炉的单晶夹持机构,其特征在于:所述支撑触头(2)上的卡槽(21)为U型槽,所述U型槽底部为平面。
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