[实用新型]一种应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪有效
| 申请号： | 201520683842.1 | 申请日： | 2015-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN204944680U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 杨超普;刘明宝;耿西侠;周春生;李春;刘彦峰;张美丽;张国春 | 申请（专利权）人： | 商洛学院 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;G01B11/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 726000 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
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1.一种应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：包括安装在MOCVD反应室上方的监测仪探头盒体，在监测仪探头盒体中设有圆柱状的分光片腔，在分光片腔上方设有上光感探测器，在分光片腔两侧分别上下交错设有左光感探测器和右光感探测器，各光感探测器与监测仪探头盒体分光片腔之间均设有进出光孔，对应左光感探测器和右光感探测器的进出光孔的监测仪探头盒体分光片腔中分别设有135°二向色滤光片和45°二向色滤光片。
2.根据权利要求1所述的应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：所述进出光孔为在监测仪探头盒体分光片腔上、下、左、右分别设有与二向色滤光片相通的上出光孔、下进光孔、左出光孔以及右出光孔，上出光孔和下进光孔在同一直线上，左出光孔与右出光孔相互平行，且均垂直于监测仪探头盒体。
3.根据权利要求1所述的应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：在各光感探测器的进出光孔处分别设有窄带滤光片。
4.根据权利要求1所述的应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：所述右光感探测器是中心波长为1300nm，半峰宽为10nm的光感探测器。
5.根据权利要求1所述的应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：所述左光感探测器是中心波长为1150nm，半峰宽为10nm的光感探测器。
6.根据权利要求1所述的应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：所述上光感探测器是中心波长为940nm，半峰宽为10nm的光感探测器。
7.根据权利要求2所述的应用于MOCVD反应室的三波长免修正在线红外监测仪，其特征在于：所述监测仪探头盒体安装在MOCVD反应室的石英光学窗口的正上方，监测仪探头盒体的下进光孔对准MOCVD反应室的顶板上的石英光学窗口下的喷淋孔。
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