[实用新型]一种紫外固体激光器

权利要求书

1.一种紫外固体激光器，包括泵浦源、聚焦透镜、固态增益介质、波长转换元件，其特征在于：所述泵浦源为InGaN基或GaN基半导体激光二极管，发出激光光束作为泵浦光；所述固态增益介质采用至少掺杂稀土元素Pr³⁺的固态激光晶体，泵浦光经聚集透镜聚焦后入射至固态激光晶体的入光面，所述入光面作为谐振腔的输入镜；在固态激光晶体的出光方向后方设置谐振腔的输出镜；在固态激光晶体与输出镜之间设置波长转换元件和标准具；所述固态增益介质、波长转换元件、标准具和输出镜设置在热沉上，所述泵浦源、聚焦透镜分别设置在各自的基座上；所述热沉与基座设置在可以调节温度的帕尔贴元件以调节各光学元件的温度。

2.根据权利要求1所述的紫外固体激光器，所述泵浦源、聚焦透镜、固态增益介质、波长转换元件、标准具、输出镜及帕尔贴元件设置在密封箱中，密封箱的出光处设置有出光窗口，紫外激光从所述出光窗口出射。

3.根据权利要求1所述的紫外固体激光器，所述InGaN基半导体激光二极管为宽带隙激光二极管，输出波长约为450nm。

4.根据权利要求1所述的紫外固体激光器，所述固态激光晶体为Pr³⁺:YLF晶体，在泵浦激光的作用下能够从能级³P₀跃迁到能级³F₄，可输出720nm的激光；所述Pr³⁺:YLF晶体的入光面镀450nmHT/720nmHR膜，在450nm处的透过率约为80%，在720nm处的反射率约为99%；所述Pr³⁺:YLF晶体的出光面镀720nmAR/360nmHR膜，在720nm处具有低反射率，反射率约为0.2%，在360nm处的反射率约为95%。

5.根据权利要求4所述的紫外固体激光器，所述波长转换元件为非线性光学材料，采用MgO:LiNbO₃晶体，具有周期性畴极化反转结构，其畴极化反转结构的周期为1.65μm，将720nm的基波转化为二阶谐波360nm，经输出镜输出360nm的紫外激光。

6.根据权利要求1所述的紫外固体激光器，所述输出镜的入光面镀720nmHR/360nmHT膜，在720nm处的反射率在99%以上，在360nm处的透过率在95%以上。

7.根据权利要求1所述的紫外固体激光器，所述标准具作为波长选择元件，使得激光器的谐振腔内为单纵模振荡，由此降低噪声。

8.根据权利要求1所述的紫外固体激光器，所述热沉、基座由铜材料制成。