[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置

权利要求书

1.一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，包括机台（5），机台（5）上安装有支撑平台（8），支撑平台（8）上安装有曝光机头组（4），其特征在于：还包括自吸尘组件（1），自吸尘组件（1）包括固定安装在支撑平台（8）侧部的上固定块（11），上固定块（11）位于曝光机头组（4）前部面板的下方，上固定块（11）两端下部分别垂直安装有竖板（12），竖板（12）的数量为2个，2个竖板（12）的下部均垂直安装在下固定块（13）上，上固定块（11）内横向设有集尘管（14），吸尘管（9）贯穿下固定块（13）安装在上固定块（11）上且与集尘管（14）相通，集尘管（14）的一端为封闭结构，集尘管（14）的另一端贯穿上固定块（11）且接有真空管（6），真空管（6）的另一端接在工业吸尘器（7）上。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，其特征在于：所述的吸尘管（9）的数量为7个，7个吸尘管（9）均匀间隔布置。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，其特征在于：还包括吸尘头（15），吸尘头（15）安装在吸尘管（9）的下方。

4.根据权利要求3所述的一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，其特征在于：所述的吸尘头（15）为硅胶材质。

5.根据权利要求3所述的一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置，其特征在于：所述的机台（5）上安装有XY轴移动平台（2），XY轴移动平台（2）上放置有PCB板（3），吸尘头（15）位于PCB板（3）上方2cm-15cm处。