[实用新型]一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统

权利要求书

1.一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：包括蚀刻液处理系统、再生液循环系统、配液系统和氯气回收系统，蚀刻液处理系统包括蚀刻生产线（1）、母液储存罐（2）、电解槽和溶解吸收系统（6），电解槽包括阴极槽（3）、膜（4）和阳极槽（5），母液储存罐（2）、阴极槽（3）、阳极槽（5）、溶解吸收系统（6）依次连通，蚀刻生产线（1）分别与母液储存罐（2）和溶解吸收系统（6）连通，溶解吸收系统（6）与蚀刻生产线（1）连通；

氯气回收系统包括洗气系统（7）和尾气处理系统（8），阳极槽（5）、洗气系统（7）和尾气处理系统（8）依次连通。

2.根据权利要求1所述的一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：所述的膜（4）为隔膜、阳离子膜或阴离子膜。

3.根据权利要求1所述的一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：所述的阴极槽（3）通过电解得到电解铜（9）。

4.根据权利要求1所述的一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：所述的电解槽内设有离子浓度检测装置。

5.根据权利要求1所述的一种具有尾气处理功能的酸性蚀刻废液循环再生系统，其特征在于：所述的蚀刻液处理系统、再生液循环系统、配液系统和氯气回收系统都使用耐酸、耐碱、耐腐蚀的材料制成。