[实用新型]全自动硅片插片及清洗系统

权利要求书

1.一种全自动硅片插片及清洗系统，其实现将硅片插入花篮中并进行清洗的功能，其特征在于：包括第一传送机构、第二传送机构、第三传送机构、机械手组件、移载机构、清洗机构，

所述的第一传送机构包括用于传送硅片的第一传送带；

所述的第二传送机构包括用于传送空载花篮的第二传送带；

所述的第三传送机构包括用于传送满载花篮的第三传送带；

所述的机械手组件包括能够移动地设置在所述的第一传送带、所述的第二传送带与所述的第三传送带三者之间的用于夹持花篮的夹具；

所述的移载机构包括用于收纳多个满载花篮的吊筐、用于将所述的第三传送带上的满载花篮转移至所述的吊筐中的转移组件；所述的吊筐上设置有多个具有入口的收纳空间，所述的收纳空间能够收纳多个满载花篮；所述的转移组件包括用于提取所述的第三传送带上的满载花篮的支撑部件、控制所述的支撑部件升降的升降控制单元、控制所述的支撑部件在水平面内摆动的转动控制单元、控制所述的支撑部件及其上的满载花篮移至所述的吊筐中的伸缩控制单元，所述的支撑部件具有便于提取所述的第三传送带上的满载花篮的第一位置和使满载花篮位于所述的收纳空间的入口处的第二位置；所述的伸缩控制单元具有能够将所述的支撑部件上的满载花篮推入所述的收纳空间中的伸出位置和与满载花篮相脱离的缩进位置；

所述的清洗机构包括用于对硅片进行清洗的清洗槽，所述的清洗槽内盛装有清洗液。

2.根据权利要求1所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：所述的支撑部件为能够从花篮的相对两侧将其托起的两根承托杆，两根所述的承托杆安装在一个托架上。

3.根据权利要求2所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：所述的托架的上方设置有一吊臂，所述的升降控制单元包括沿竖直方向设置的升降气缸，所述的升降气缸的缸筒安装在所述的吊臂上，所述的托架固定安装在所述的升降气缸的活塞杆的下端。

4.根据权利要求3所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：所述的转动控制单元包括安装轴承组件及推拉气缸，所述的升降气缸的缸筒的上端通过所述的轴承组件能够转动地安装在所述的吊臂上，所述的推拉气缸的缸筒铰接安装在所述的吊臂上，所述的推拉气缸的活塞杆连接至所述的升降气缸上。

5.根据权利要求2所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：所述的伸缩控制单元为两个伸缩气缸，所述的伸缩气缸的缸筒固定安装在所述的托架上，所述的支撑部件上的花篮位于所述的伸缩气缸的活塞杆的伸缩路径上。

6.根据权利要求1所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：该系统还包括能够将所述的吊筐移至所述的清洗槽中的吊具。

7.根据权利要求6所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：所述的吊筐的相对侧壁上相对向外延伸设置有两对对称分布的凸柱，所述的吊具包括四个能够挂在所述的凸柱上而将所述的吊筐托起的吊钩。

8.根据权利要求1所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：该系统还包括设置在所述的第三传送带的传送路径上的能够改变满载花篮的摆放方向的换向单元。

9.根据权利要求1所述的全自动硅片插片及清洗系统，其特征在于：所述的吊筐上的各所述的收纳空间相平行设置，且它们的入口朝向相同。