[实用新型]用于高功率微波发生装置的陶瓷轴有效
申请号: | 201520696183.5 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN204966442U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 赵童刚;安百江;尚晓博 | 申请(专利权)人: | 陕西宝光陶瓷科技有限公司 |
主分类号: | H01J23/12 | 分类号: | H01J23/12 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 宋秀珍 |
地址: | 721006 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 功率 微波 发生 装置 陶瓷 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种用于高功率微波发生装置的陶瓷轴。
背景技术
目前国内的高功率微波发生装置,其内部的连接轴多采用绝缘性能较好金属部件,虽然金属部件的精度以及强度能满足使用要求,但在高电压下,电极会与金属部件之间发生放电,进而影响了整个脉冲电压和脉冲功率的提高,金属部件固有的导电性能限制了高功率微波发生装置向大功率发展,因此有必要提出改进。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题:提供一种用于高功率微波发生装置的陶瓷轴,将陶瓷和金属材料进行有效复合,既满足了高功率微波装置的使用要求,又提高了脉冲功率和脉冲电压。
本实用新型采用的技术方案:用于高功率微波发生装置的陶瓷轴,具有陶瓷本体,所述陶瓷本体外圆周同一轴线上制有多个盲孔,所述盲孔内壁及孔底均涂覆金属化层,所述金属化层上镀有镍层Ⅰ,外圆周及底部均镀有镍层Ⅱ的可伐柱插入盲孔内且镍层Ⅱ和镍层Ⅰ之间填充焊料后焊接为一体,所述可伐柱上制有螺孔。
进一步地,所述陶瓷本体采用95%氧化铝陶瓷制成。
进一步地,所述陶瓷本体的直径为12-15mm,长度为200-210mm。
进一步地,所述陶瓷本体外圆周同一轴线上制有3个盲孔,所述盲孔的孔径6mm,孔深为6-8mm。
进一步地,所述金属化层厚度为8-25μm,所述镍层Ⅰ厚度为2-6μm。
进一步地,所述可伐柱采用瓷封合金4J33制成,所述可伐柱外圆周及底部的镍层Ⅱ厚度为8-15μm。
本实用新型与现有技术相比将陶瓷和金属材料进行有效复合形成陶瓷轴,既满足了高功率微波装置的使用要求,又提高了脉冲功率和脉冲电压,同时还具有体积小、重量轻、结构简易、装配精度高和绝缘性好的优点。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为图1的A-A剖视图;
图3为图2的B部放大图。
具体实施方式
下面结合附图1-3描述本实用新型的一种实施例。
用于高功率微波发生装置的陶瓷轴,具有陶瓷本体1,所述陶瓷本体1采用95%氧化铝陶瓷制成,陶瓷本体1的直径为12-15mm,长度为200-210mm,所述陶瓷本体1外圆周同一轴线上制有3个盲孔3,所述盲孔3的孔径为6mm,孔深6-8mm,所述盲孔3内壁及孔底均涂覆金属化层4,金属化层4厚度为8-25μm,所述金属化层4上镀有镍层Ⅰ5,镍层Ⅰ5厚度为2-6μm,外圆周及底部均镀有镍层Ⅱ6的可伐柱2插入盲孔3内且镍层Ⅱ6和镍层Ⅰ5之间填充焊料后焊接为一体,所述可伐柱2上制有M3的螺孔7,可伐柱2采用瓷封合金4J33制成,所镍层Ⅱ6厚度为8-15μm。
工艺流程:本实用新型的陶瓷本体1采用等静压成型工艺,陶瓷原料经过配料、球磨、除铁、造粒等工艺完成粉料的制备,将制备的粉料装入模具中,然后用等静压设备将粉料压制密实,接着粉料生坯脱模,车加工实心棒,在高温烧成,精加工陶瓷轴外径及盲孔,完成陶瓷本体1的加工。先对以上完成加工的陶瓷本体1进行清洗,待表面干燥后,在盲孔3内壁表面和底面上涂覆金属化膏剂,在还原性气氛中进行一次金属化,然后在金属化层4表面电镀镍层Ⅰ5,完成陶瓷轴金属化制品的加工,最后将可伐柱2与盲孔3配合,填充焊料后在还原性气氛下钎焊,完成可伐柱2与盲孔3的牢固性焊接,在可伐柱2上加工螺孔7,完成整个陶瓷轴的加工。
上述实施例,只是本实用新型的较佳实施例,并非用来限制本实用新型实施范围,故凡以本实用新型权利要求所述内容所做的等效变化,均应包括在本实用新型权利要求范围之内。
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