[实用新型]光路折返装置及薄膜应力测试仪

权利要求书

1.一种光路折返装置，其特征在于，包括：

箱体；

光入射窗，设于所述箱体上，所述光入射窗用于透过薄膜反射的入射光束；

光学组件，设于所述箱体内，所述光学组件用于对透过所述光入射窗的光束进行多次反射；

光出射窗，设于所述箱体上，所述光出射窗用于透过经过所述光学组件多次反射的出射光束。

2.根据权利要求1所述的光路折返装置，其特征在于，所述光学组件包括若干反光镜，若干所述反光镜固设于所述箱体内，且若干所述反光镜依次相对设置形成反射路径，以使透过所述光入射窗的入射光束经过若干所述反光镜的多次反射从所述光出射窗出射。

3.根据权利要求2所述的光路折返装置，其特征在于，所述光学组件包括第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜、第四反光镜、第五反光镜及第六反光镜，所述第二反光镜朝向所述第一反光镜倾斜而设，所述第三反光镜朝向所述第二反光镜倾斜而设，所述第四反光镜朝向所述第三反光镜倾斜而设，所述第五反光镜分别朝向所述第二反光镜和第四反光镜倾斜而设，所述第六反光镜朝向所述第三反光镜倾斜而设；

所述第五反光镜位于所述第一反光镜与所述第二反光镜之间，所述第六反光镜位于所述第三反光镜与所述第四反光镜之间，所述第二反光镜与所述第三反光镜保持水平，所述第四反光镜与所述第五反光镜保持水平；

其中，所述第一反光镜、第二反光镜及所述第五反光镜与竖直方向的夹角为45度，所述第三反光镜、第四反光镜及所述第六反光镜与竖直方向的夹角为-45度。

4.根据权利要求2所述的光路折返装置，其特征在于，所述光入射窗与所述光出射窗设于所述箱体相对的两侧。

5.一种薄膜应力测试仪，用于测量镀膜后的基片上的薄膜应力，其特征在于，包括如权利要求1～4任意一项所述的光路折返装置，所述薄膜应力测试仪还包括：

样品台，用于放置所述基片；

激光发射器，用于发射激光光束，所述激光发射器设于所述样品台上方；

激光探测仪，设于所述样品台一侧；

半透镜，用于透过所述激光发射器发射的激光光束，可接受所述基片反射的激光光束并将其反射至所述激光探测仪，所述半透镜设于所述激光发射器与所述样品台之间；

其中，所述光路折返装置设于所述半透镜反射激光光束至所述激光探测仪的反射路径上。

6.根据权利要求5所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述光入射窗的中心处与所述半透镜反射所激光光束大致平齐。

7.根据权利要求5所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述薄膜应力测试仪还包括驱动所述样品台以预定步长沿第一方向和第二方向移动的驱动装置，以及与所述驱动装置电连接的控制装置；

其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

8.根据权利要求7所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述驱动装置包括沿第一方向延伸的第一滑轨及沿第二方向延伸的第二滑轨，所述样品台可滑动地连接于所述第二滑轨，所述第二滑轨可滑动地连接于所述第一滑轨。

9.根据权利要求8所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述驱动装置还包括伺服电机组件，所述伺服电机组件包括第一伺服电机组件及第二伺服电机组件，所述第一伺服电机组件与所述控制装置电连接，并通过滚珠丝杠驱动所述第二滑轨沿第一方向在第一滑轨上以预定步长移动，所述第二伺服电机组件与所述控制装置电连接，并通过滚珠丝杠驱动所述样品台沿第二方向在所述第二滑轨上以预定步长移动。

10.根据权利要求5～9任意一项所述的薄膜应力测试仪，其特征在于，所述薄膜应力测试仪还包括工作台及设于所述工作台上的支撑架，所述样品台及所述激光探测仪相对的设置于所述工作台上，所述激光发射器及所述半透镜设于所述支撑架上，且所述半透镜位于所述激光发射器与所述样品台之间。