[实用新型]一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备有效
申请号: | 201520710312.1 | 申请日: | 2015-09-14 |
公开(公告)号: | CN204939599U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 李志荣;李志方;罗志明;潘锐华;冯小庭 | 申请(专利权)人: | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 何秋林;周克佑 |
地址: | 523820 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大型 立式 不锈钢 离子 镀膜 设备 | ||
1.一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备,包括炉体(1),所述炉体(1)由炉座架支撑,一端设有炉盖(9),另一端设有炉底板,所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3),炉体(1)内壁上设置有布气管(4),所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置,所述工件架设置在所述炉体内侧,所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧,与所述工件架相连,用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动;
其特征在于,所述炉体(1)竖向设置,所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部,所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上,所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。
2.根据权利要求1所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备,其特征在于,所述布气管(4)的结构如下:所述布气管(4)包括供气口(5)、内管(6)和外管(7),内管(6)位于外管(7)内侧,内管(6)两端向外管(7)两端延伸,内管(6)管端为内管的出气口,外管(7)管端密闭,将内管(6)管端的出气口密封在其内侧,布气管(4)的布气孔(8)设置在外管(7)的外壁,布气管(4)的供气口(5)从布气管(4)的中部位置与内管(6)相通。
3.根据权利要求1所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备,其特征在于,所述布气管(4)的结构为:所述布气管(4)由两条并排设置的管路构成,其中一条管路的供气口靠近炉体(1)底端,另一管路的供气口靠近炉体(1)顶端。
4.根据权利要求1~3任一项权利要求所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备,其特征在于,所述工件架整体吊装在炉盖(9)上,所述工件架包括公转运动架,所述公转运动架包括上下相对设置的上底板(18)和下底板(19),所述上底板(18)构成所述工件架的随动公转盘(18),所述公转运动架通过与其随动公转盘(18)中部相连的运动主轴组件转动吊装在所述炉盖(9)上,所述运动主轴组件上端从所述炉盖(9)中部开孔中穿出,与固定在所述炉盖上的所述驱动装置相连,以便由所述驱动装置通过所述运动主轴组件驱动所述公转运动架转动,所述公转运动架的上、下底板(18)、(19)间转动安装有若干根自转轴(29),所述自转轴(29)上固定套装有两个自转盘,分别为上自转盘(31)和下自转盘(34),两自转盘位于所述上底板(18)和下底板(19)之间,分别与两底板(18)、(19)靠近,所述上自转盘(31)和所述下自转盘(34)之间设有若干组管件夹持装置,所述管件夹持装置包括管件上夹持装置和管件下夹持装置,所述管件上夹持装置转动安装在所述上自转盘(31)上,所述管件下夹持装置转动安装在所述下自转盘(34)上,所述管件上、下夹持装置分别用于固定管件的上、下端。
5.根据权利要求4所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备,其特征在于,所述自转轴(29)和管件夹持装置转动的驱动结构如下:所述自转轴(29)沿着所述上、下底板(18)、(19)外边缘布置成一圆圈,所述管件夹持装置沿着所述上、下自转盘(31)、(34)外边缘布置成一圆圈,各所述自转轴(29)的上端穿出于所述随动公转盘(18)后分别套装一齿轮(30),所述炉盖(9)中部环围着所述运动主轴组件固定一大环形外齿轮(25),各所述自转轴(29)上的齿轮(30)与所述大环形外齿轮(25)啮合,所述随动公转盘(18)上对应各自转轴(29)位置,分别固定有一小环形外齿轮(39),所述小环形外齿轮(39)环围着所述自转轴(29)设置,所述上自转盘(31)上的各管件上夹持装置上端穿出于所述上自转盘(31)后分别套装一齿轮(38),各所述上夹持装置上的齿轮(38)与所述小环形外齿轮(39)啮合。
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