[实用新型]一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构有效
| 申请号： | 201520710802.1 | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN204939601U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 侯玉萍;王洪权;刘野;马槽伟 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 电弧 阴极 翻转 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括接线柱（1），其特征在于，所述接线柱（1）通过接线螺母（2）固定在电弧阴极体（3）上，所述电弧阴极体（3）设置在密封压板（5）上，所述密封压板（5）的一端设有翻转板（11）、紧定螺钉（12）和轨道板（13），所述翻转板（11）通过紧定螺钉（12）固定在轨道板（13）上，所述密封压板（5）的另一端设有把手（4）、弹簧压紧手柄（6）、电弧阴极体固定板（7）和O型密封圈（8），所述把手（4）设置在密封压板（5）上，所述弹簧压紧手柄（6）设置在密封压板（5）的最外端，所述电弧阴极体固定板（7）的外边侧设有O型密封圈（8），所述翻转板（11）上设有圆柱销（14）和轴套（15），所述轴套（15）设置在圆柱销（14）的外表面。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，其特征在于,所述电弧阴极体（3）底部设有辅助阴极（9）和靶材（10），所述辅助阴极（9）设置在靶材（10）的外边侧。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，其特征在于,所述靶材（10）与靶面处在同一水平面上。
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