[实用新型]一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构有效

专利信息
申请号: 201520711414.5 申请日: 2015-09-15
公开(公告)号: CN204959088U 公开(公告)日: 2016-01-13
发明(设计)人: 叶国伟;韩江山;李小马;陈华荣 申请(专利权)人: 福建晶安光电有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 362411 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 尺寸 蓝宝石 垂直 加热器 结构
【权利要求书】:

1.一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,包括:

一个环状结构,设置在加热器底部;

两个电极,设置在加热器顶部,相互不直接接触;

加热棒,均匀的设置在加热器侧部,相互平行,两端分别固定在环状结构和电极上;

其特征在于,所述加热器为筒状,顶部和底部不封闭,所述加热棒材料为钨。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热棒为细杆状,直径为3.6~4.5mm。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热棒密集分布在加热器侧部,数量为50~150根,高密集度的分布保证热场均匀,并实现精确控制,数量越多电阻越小,相同工作电压情况下,电热转换效率越高。

4.根据权利要求3所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热棒数量为70~90根。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热器在工作时,内部设有被所述加热棒围绕的坩埚,所述坩埚到加热棒的距离为10~60mm。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热器在完成蓝宝石加热后,具备先于坩埚取出的功能。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述环状结构为钨环。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述电极材料为铜。

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