[实用新型]一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器结构有效
申请号: | 201520711414.5 | 申请日: | 2015-09-15 |
公开(公告)号: | CN204959088U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 叶国伟;韩江山;李小马;陈华荣 | 申请(专利权)人: | 福建晶安光电有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362411 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 蓝宝石 垂直 加热器 结构 | ||
1.一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,包括:
一个环状结构,设置在加热器底部;
两个电极,设置在加热器顶部,相互不直接接触;
加热棒,均匀的设置在加热器侧部,相互平行,两端分别固定在环状结构和电极上;
其特征在于,所述加热器为筒状,顶部和底部不封闭,所述加热棒材料为钨。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热棒为细杆状,直径为3.6~4.5mm。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热棒密集分布在加热器侧部,数量为50~150根,高密集度的分布保证热场均匀,并实现精确控制,数量越多电阻越小,相同工作电压情况下,电热转换效率越高。
4.根据权利要求3所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热棒数量为70~90根。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热器在工作时,内部设有被所述加热棒围绕的坩埚,所述坩埚到加热棒的距离为10~60mm。
6.根据权利要求5所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述加热器在完成蓝宝石加热后,具备先于坩埚取出的功能。
7.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述环状结构为钨环。
8.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石炉垂直加热器,其特征在于:所述电极材料为铜。
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