[实用新型]扫描电镜载物台

说明书

技术领域

本实用新型涉及扫描电子显微镜领域，特别涉及扫描电镜载物台。

背景技术

扫描电镜全称扫描电子显微镜，扫描电子显微镜(SEM)技术的出现，使人类对物质表面微观世界的观察能力发生了质的飞跃。近年来，这一技术已经应用于各种学科领域，如冶金、材料、医学、地质学、生物学、机械加工、半导体制造及陶瓷品的检验等领域。尤其在材料领域中，扫描电镜技术正在发挥着极其重要的作用，涉及材料的形态结构、损伤机制、界面状况及材料性能预测等各方面的研究。利用扫描电镜可以直接研究晶体缺陷及其生产过程，可以观察金属材料内部原子的集结方式和它们的真实边界，也可以观察在不同条件下边界移动的方式，还可以检查晶体在表面机械加工中引起的损伤和辐射损伤等。

然而，一些待测材料，特别是拉伸试样，大多数都是拉伸测试产生的断口块状试样，归因于不同材料间本征成分、组织的差异性，不同断裂件经拉伸产生的断口尺寸差异较大，其形状也各异。为了在扫描电镜下观测这些材料，一般都是将其对外委托加工成底面平整的样品，然后再置于载物台进行相关测试。遗憾的是，样品的重新加工降低了测试效率、造成人力物力的浪费。更为严重的是，对样品进行加工这一措施不仅容易使样品表面遭受破坏，甚至带来报废风险，从而导致整个研究过程前功尽弃。因此，如何对拉伸试样进行合理、高效、无风险测试成为该领域目前面临的新问题。

中国专利申请号201520200781.9，公开日2015年7月1日的专利文件，公开了一种扫描电镜载物台，包括有载物平台和爪状插杆，载物平台下表面设有与扫描电镜样品室的样品座连接的螺杆，载物平台上表面开设有多个螺纹插孔，爪状插杆的顶部装有金属爪、下部为插杆螺杆，爪状插杆的插杆螺杆对应装在载物平台的螺纹插孔内。该实用新型的技术效果是：爪状插杆能够插入多个不同直径的柱状样品，样品置入爪状插杆后，爪状插杆能将样品牢牢卡住，当测试完毕之后可以直接取出样品。样品即插即用，方便测试不同的柱状样品，提高测试效率，特别适用于底部不平整的柱状样品。但是，该实用新型中金属爪固定的样品形状受到限制，不能夹持形状各异的断口进行观测。

此外，中国专利申请号201420695658.4，公开日2015年4月2日的专利文件，也公开了一种扫描电子显微镜样品夹持装置，在一圆形的载物台上安装有4个呈长方形分布的支撑块，在长向的两块支撑块之间分别连接有滑杆，在每根滑杆上套设有活动的夹块，在两夹块中间设置有套在滑杆上的弹簧。该实用新型在传统的扫描电镜载物台加装滑杆和夹块，能适用于不规则样品的夹持，并能很大程度保证观测面处于水平放置。但该实用新型夹持样品时装置与样品的接触是面接触，夹持不稳定，可靠性差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术中扫描电镜载物台存在夹持形状不规则试样稳定性差、可靠性低、影响正常观测的缺陷，提供一种扫描电镜载物台。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种扫描电镜载物台，其特点在于，所述扫描电镜载物台包括载物托盘、至少三个夹持螺钉座和若干夹持螺钉，在所述载物托盘上设置有多个定位圆孔，所述夹持螺钉座通过所述定位圆孔固定在所述载物托盘上，所述夹持螺钉的外螺纹拧入相应的所述夹持螺钉座上的螺纹孔。

较佳地，所述夹持螺钉座包括横孔段、支撑段和定位段，所述螺纹孔设置在所述横孔段上。

较佳地，所述螺纹孔在轴线方向上与所述支撑段的轴线方向垂直。

较佳地，所述定位段为圆柱形，所述定位段的直径与所述定位圆孔的直径相匹配，所述支撑段的直径比所述定位段的直径大4-6mm。

较佳地，所述夹持螺钉的一端为平头，另一端为平头或锥头。

较佳地，所述载物托盘为圆形盘，其直径为80-120mm。

较佳地，所述定位圆孔为通孔，所述定位圆孔均匀地排列在所述载物托盘上，排列呈正六边形。

较佳地，所述定位圆孔的直径范围为3-6mm。

较佳地，所述夹持螺钉座的所述支撑段的长度为8-14mm。

较佳地，所述夹持螺钉座的数量为3-12个。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型扫描电镜载物台可以直接承载未经加工的拉伸断裂试样，有效的降低了测试成本，并且避免了试样污染及报废风险，提高了测试的准确性。其能够实现自由组合、灵活变化，从而稳定夹持各种形状不规则的试样，降低了测试成本，提高了测试效率和准确度。同时所述扫描电镜载物台还可以同时对多个形状不规则的块状试样进行测试，可以大大提高试验效率，并且节省能耗。

附图说明