[实用新型]一种简易的气体混合腔有效
申请号: | 201520717288.4 | 申请日: | 2015-09-16 |
公开(公告)号: | CN205223346U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 彭释;张菁;李炜 | 申请(专利权)人: | 东华大学 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 翁若莹 |
地址: | 201620 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 简易 气体 混合 | ||
1.一种简易的气体混合腔,包括腔体(1)及出气口(6),其特征在于,腔体 (1)开有第一进气口(2)及第二进气口(3),在腔体(1)内设有沿宽度方向 等间距排列的第一分流管道(4)及沿长度方向等间距排列的第二分流管道(5), 第一分流管道(4)及第二分流管道(5)分别与第一进气口(2)及第二进气口 (3)相通,第一分流管道(4)及第二分流管道(5)还与混气管道相通,混气 管道与出气口相通。
2.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔,其特征在于:所述腔体(1) 为长方体。
3.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔,其特征在于:所述第一进气口 (2)及第二进气口(3)为圆孔,并分别设有流量调节阀。
4.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔,其特征在于:所有所述第一分 流管道(4)及第二分流管道(5)的直径一致。
5.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔,其特征在于:所有所述第一分 流管道(4)和第二分流管道(5)位于同一高度。
6.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔,其特征在于:所述第一分流管 道(4)与所述第二分流管道(5)相互垂直,或所述第一分流管道(4)与所述 第二分流管道(5)间呈锐角夹角。
7.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔,其特征在于:所述出气口(6) 为长方形扁平状或圆形小孔。
8.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔,其特征在于:所述混合腔选用 聚四氟乙烯或可切割陶瓷材料,通过简单钻孔技术加工。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的