[实用新型]一种真空镀膜设备

权利要求书

1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括设备主体，所述设备主体上设有观察窗，所述观察窗包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框，所述透镜设置于窗框和透镜固定框之间，窗框和透镜固定框通过螺栓固接。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述窗框为中空结构，并呈圆环形，窗框内设有循环冷却结构和遮板结构，所述循环冷却结构包括循环通道、冷水进口和冷水出口，所述循环通道位于窗框内，呈圆环形，并与窗框同心设置，所述冷水进口和冷水出口分别对称设置于窗框的上部和下部，并贯通循环通道，冷水进口和冷水出口处设有与窗框端面垂直的2个管接头，所述遮板结构设置于窗框上部偏右侧，包括转动杆、遮板和把手，所述转动杆水平自窗框上部偏右侧贯穿窗框，包括固定部和转动部，所述固定部位于窗框内，所述转动部位于窗框外，所述把手与转动部垂直固接，所述遮板通过螺栓与固定部固接。

3.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述窗框一侧的端面上设有截面呈方形、整体呈圆环形的凹槽，所述凹槽内设有呈圆环形的密封胶圈，所述透镜固定框呈圆环形，通过螺栓与窗框固接，透镜与密封胶圈紧密贴合，透镜固定框中部开有观察口，上部和下部对称设有呈圆弧形的管接头缺口，所述观察口呈圆形。

4.如权利要求2所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述转动杆与窗框之间设有密封圈。

5.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述窗框的外径为D1，所述透镜固定框的外径为D2，所述D1：D2=1:0.7。

6.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述透镜呈圆形，其直径为D3，所述透镜固定框的内径为D4，所述D3：D4=1:0.8。

7.如权利要求2所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述把手外套合有硅橡胶隔热套管。