[实用新型]一种激光光斑宽度测量装置

权利要求书

1.一种激光光斑宽度测量装置，其特征是：至少包括一个被测量的激光器（1），激光器（1）通过光学单元（2）将激光器（1）的输出光分成两束，光学单元（2）分出的第一束平行光束照射在功率探测器（4-1）；光学单元（2）分出的第二束平行光束照射在标尺光栅（3-6）和指示光栅（3-7）构成的莫尔条纹产生器输入面上，莫尔条纹产生器输出端有光电检测单元（4），指示光栅（3-7）固定在机械扫描器上；在机械扫描器（3）上安装有刀口（3-5）；所述的光学单元（2）包括半透半反镜（2-1），一个全反镜（2-2）和扩束镜（2-3）；激光器（1）通过半透半反镜（2-1）形成反射光输出和透射光输出，反射光输出和透射光输出互成夹角，反射光输出再次通过全反镜（2-2）进行全反射后，使透射光输出形成第一束平行光束，使反射光形成第二束平行光束；第二束平行光束经扩束镜（2-3）后照射在莫尔条纹产生器输入面；第一束平行光束照射在功率探测器（4-1）窗口上。

2.根据权利要求1所述的一种激光光斑宽度测量装置，其特征是：所述的机械扫描器（3）包括导轨（3-1）、滑块（3-2）、丝杠（3-3）、伺服步进电机（3-4）、导轨座（3-5）；导轨（3-1）沿导轨座（3-5）长度方向平行固定；丝杠（3-3）由左右固定架固定在导轨座（3-5）上；丝杠（3-3）通过丝扣套接滑块（3-2）；丝杠（3-3）一端与伺服步进电机（3-4）同轴连接；伺服步进电机（3-4）工作时，带动丝杠（3-3）转动；丝扣套接的滑块（3-2）沿丝杠（3-3）左右移动。

3.根据权利要求2所述的一种激光光斑宽度测量装置，其特征是：所述的导轨座（3-5）一端固定指示光栅（3-7），滑块（3-2）一端固定标尺光栅（3-6）；标尺光栅（3-6）与指示光栅（3-7）平行，标尺光栅（3-6）和指示光栅（3-7）的光栅形成夹角，滑块（3-2）在伺服步进电机（3-4）工作时移动，使通过标尺光栅（3-6）与指示光栅（3-7）的第二束平行光束经扩束镜（2-3）后照射在莫尔条纹产生器输入面上。

4.根据权利要求1所述的一种激光光斑宽度测量装置，其特征是：所述光电检测单元（4）包括光功率探测器（4-1）、光电池组（4-2）；所述功率探测器（4-1）为热释电探测器，在热释电探测器前端有刀口（3-5），通过刀口（3-5）在热释电探测器前移动遮挡。

5.根据权利要求4所述的一种激光光斑宽度测量装置，其特征是：所述光电池组（4-2）个数按2的整数倍分布在包括一个明暗周期的莫尔条纹内。