[实用新型]半导体激光器阵列单巴实时测试系统有效

专利信息
申请号: 201520728600.X 申请日: 2015-09-18
公开(公告)号: CN205120342U 公开(公告)日: 2016-03-30
发明(设计)人: 蔡磊;吴迪;孙翔;刘兴胜 申请(专利权)人: 西安炬光科技股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 胡乐
地址: 710077 陕西省西安市高新区*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 半导体激光器 阵列 实时 测试 系统
【权利要求书】:

1.半导体激光器阵列单巴实时测试系统,包括半导体激光器阵列和光接收器,其特征在于:还包括光束导光分离器和拖动机构,所述光束导光分离器设置于半导体激光器阵列与光接收器之间的光路上;光束导光分离器的体型对应于半导体激光器阵列中的单个巴条,光束导光分离器在半导体激光器阵列巴条排布方向上的端面覆有全反射膜,使得:半导体激光器阵列中仅有一个巴条发出的光进入光束导光分离器,并在光束导光分离器内经过全反射后以不同于巴条光轴的方向出射至光接收器,同时所述全反射膜避免邻近巴条的发散光进入光束导光分离器;所述拖动机构用以拖动光束导光分离器遍历各个巴条,光接收器依次接收每一个巴条的出光。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器阵列单巴实时测试系统,其特征在于:所述光束导光分离器为透明光学器件,单个巴条发出的光垂直透过透明光学器件的第一侧面进入透明光学器件,设巴条间距为p,巴条的平均快轴发散角为θ,则所述第一侧面的厚度t范围为p<t<2p,第一侧面与半导体激光器阵列的距离m范围为0<m<p/2tg(θ/2)。

3.根据权利要求2所述的半导体激光器阵列单巴实时测试系统,其特征在于:所述透明光学器件为平板型结构,平板上下两面即覆于所述全反射膜,平板厚度即t,p<t<2p。

4.根据权利要求3所述的半导体激光器阵列单巴实时测试系统,其特征在于:设进入透明光学器件的光首先到达第二侧面,则所述第二侧面与巴条光轴方向的夹角α满足第二侧面上的全反射条件。

5.根据权利要求4所述的半导体激光器阵列单巴实时测试系统,其特征在于:所述透明光学器件为七面体,其中的第三侧面与所述第一侧面平行并与第二侧面邻接,使得经第二侧面全反射后的光经过第三侧面再一次全反射后,透过第四侧面出射至光接收器。

6.根据权利要求5所述的半导体激光器阵列单巴实时测试系统,其特征在于:所述透明光学器件还包括第五侧面,第五侧面的两端分别与第一侧面和第二侧面邻接,第五侧面与第四侧面平行。

7.根据权利要求1至6任一所述的半导体激光器阵列单巴实时测试系统,其特征在于:光束导光分离器的入光面和出光面镀有增透膜。

8.根据权利要求1所述的半导体激光器阵列单巴实时测试系统,其特征在于:所述光接收器采用积分球。

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