[实用新型]膜厚控制系统有效
| 申请号： | 201520734611.9 | 申请日： | 2015-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN204918752U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 付文悦;陈立强;孙俊民 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜厚控制系统，其特征在于，包括：移动装置、膜厚测量仪及计算机，所述膜厚测量仪可移动地安装在所述移动装置上，并连接所述计算机，用于从计算机获取待测基板要测量位置的坐标点，并将测得的所述要测量位置的实际膜厚发送至计算机，所述计算机将根据所述实际膜厚、预设膜厚及当前补偿值计算出的新补偿值发送至蒸镀装置用作补偿蒸镀参考。
2.如权利要求1所述的膜厚控制系统，其特征在于，所述移动装置包括：X轴丝杠、第一Y轴丝杠、第二Y轴丝杠和伺服电机，所述X轴丝杠垂直于所述第一Y轴丝杠和所述第二Y轴丝杠，所述X轴丝杠的两端分布可移动地安装在所述第一Y轴丝杠和所述第二Y轴丝杠上，所述膜厚测量仪可移动地安装在所述X轴丝杠上，所述伺服电机连接所述计算机，并连接X轴丝杠、第一Y轴丝杠和第二Y轴丝杠。
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