[实用新型]针扎光电二极管以及电子器件有效

专利信息
申请号: 201520748643.4 申请日: 2015-09-24
公开(公告)号: CN205355067U 公开(公告)日: 2016-06-29
发明(设计)人: L·法韦内克;D·迪塔特;F·鲁瓦 申请(专利权)人: 意法半导体有限公司;意法半导体(克洛尔2)公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0216
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;吕世磊
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 光电二极管 以及 电子器件
【权利要求书】:

1.一种针扎光电二极管,其特征在于,包括:

第一导电类型的转换区域,形成在第二导电类型的衬底上,所述转换区域被配置成将光子转换成电荷;

所述第二导电类型的扩散层,形成在所述转换区域上;和

重掺杂绝缘体层,所述重掺杂绝缘体层涂覆所述扩散层,所述重掺杂绝缘体层是所述第二导电类型的。

2.根据权利要求1所述的针扎光电二极管,其特征在于,所述重掺杂绝缘体层是处于从5x1021at./cm3至2x1022at./cm3硼浓度的掺杂硼的氧化硅。

3.根据权利要求1所述的针扎光电二极管,其特征在于,进一步包括被定位在所述扩散层与所述转换区域之间的所述第二导电类型的浅半导体区域。

4.根据权利要求3所述的针扎光电二极管,其特征在于,所述浅半导体区域具有在1018at./cm3的数量级上的最大掺杂并且所述扩散层具有在1020at./cm3的数量级上的最大掺杂。

5.一种电子器件,其特征在于,包括:

转移晶体管;和

针扎光电二极管,所述针扎光电二极管包括:

第一导电类型的转换区域,形成在第二导电类型的衬底上,所述转换区域被配置成将光子转换成电荷;

所述第二导电类型的扩散层,形成在所述转换区域上;和

重掺杂绝缘体层,所述重掺杂绝缘体层涂覆所述扩散层,所述重掺杂绝缘体层是所述第二导电类型的。

6.根据权利要求5所述的电子器件,其特征在于,进一步包括被定位在所述扩散层与所述转换区域之间的所述第二导电类型的浅半导体区域。

7.根据权利要求6所述的电子器件,其特征在于,所述浅半导体区域具有在1018at./cm3的数量级上的最大掺杂并且所述扩散层具有在1020at./cm3的数量级上的最大掺杂。

8.根据权利要求5所述的电子器件,其特征在于,所述转移晶体管包括绝缘栅极、漏极和源极,所述源极是所述转换区域的至少一部分。

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