[实用新型]一种真空室箱体门的压紧机构有效
申请号: | 201520750684.7 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN204982038U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 高志华;赵华清;苏明阳;唐静;王笛;户燕会;孙玉竹;李成思 | 申请(专利权)人: | 河南工业职业技术学院 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人: | 秦舜生 |
地址: | 473000 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 箱体 压紧 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空室箱体门,具体涉及一种真空室箱体门的压紧机构,是一种真空镀膜机箱体门的压紧机构。
背景技术
近二十多年来,高端的光学真空镀膜机在我国迅速得到推广应用和普及。真空镀膜机在使用时,需要关上真空箱体的箱体门,同时靠外力把箱体门和箱体可靠的、紧紧地压在一起,不允许两者之间有漏气的现象,使之形成一个密封的容腔——真空室,这是保证真空镀膜机的真空泵开始对真空室抽真空工作的一个必要的前提条件。
如何轻松地提供一个足够大的外力,使真空镀膜机箱体和箱体门紧紧地压在一起,成为一个密封的真空室容腔且没有一丝缝隙,是压紧机构需要解决的关键。目前,国内原来的和现有的真空镀膜机大都采用纯机械式的压紧机构,此类压紧机构从结构上分,主要有两种类型,一是简单的机械压紧机构,二是较复杂的机械压紧机构。
对于简单的机械压紧机构,其优点结构简单,制造方便,成本低廉,主要应用在原来和现有的国产真空镀膜机上,适用于箱体直径尺寸比较小(一般在800mm以下)的箱体结构。其缺点是在把箱门和箱体压到一起时,比较费力,当箱体门有小量变形时,压紧更费力,并且仅限于较小箱体尺寸的压紧使用,对应的压紧零件凸轮、滚轮磨损较快,使用寿命较短,需要经常定期的维修和更换。
对于复杂的压紧机构,其结构比较复杂,制造加工周期长,生产成本较高,零件尺寸比较大,对于真空室箱体尺寸较小的和偏大的都比较实用。其优点是在使用此结构压紧箱体门和箱体时,转动平稳灵活,比较省力,即便箱体门有小量的变形,压紧也比较省力,使用寿命相对较长。其缺点是制造难度加大,生产加工周期变长,装配制造成本大大增加,经济型比较差,这也使其在国产真空镀膜机上得不到广泛应用。
因此,有必要设计制造一种省事、省力、快捷的真空室箱体门压紧机构。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是设计一种真空室箱体门的压紧机构,该压紧机构在对真空室箱体门压紧时省事、省力、快捷。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:一种真空室箱体门的压紧机构,包括真空室箱体的箱体门,在所述真空室箱体上设气缸固定座,气缸固定座上设气缸,在气缸固定座上气缸与箱体门间设支撑座,支撑座上设连接臂,在气缸活塞端部与连接臂上设杠杆,杠杆与连接臂铰接,杠杆的一端与气缸活塞端部连接,杠杆的另一端上设缓冲压垫。
在所述气缸的连接气路上设电磁阀,电磁阀由控制按钮控制。
本实用新型采用上述技术方案所设计的一种真空室箱体门的压紧机构,由于在真空室箱体上的气缸固定座上设气缸,气缸活塞端与杠杆端部连接,连接臂作为杠杆的支点,通过气缸活塞的移动,杠杆另一端的缓冲压垫能够把箱体门牢固可靠地压紧在箱体上,从而使之成为密封的真空室容腔。本实用新型和传统的对真空室箱体门压紧方法相比,具有省事、省力、快捷的优点,具有良好的社会经济效益。
附图说明
图1表示本实用新型一种真空室箱体门的压紧机构的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型一种真空室箱体门的压紧机构的结构作具体说明。
参见图1,本实用新型一种真空室箱体门的压紧机构,包括真空室箱体的箱体门9,在真空室箱体上设气缸固定座2,气缸固定座2上设气缸1,在气缸1的连接气路上设电磁阀,电磁阀用来控制气缸压紧行程,电磁阀由控制按钮控制,以便操纵气缸。本实用新型的气动压紧代替了纯机械力压紧,此类光学真空镀膜设备本身带有气源装置,此压紧机构所用气源,不需另外专门增加相应的气源装置。在气缸固定座2上气缸1与箱体门9间设支撑座3,支撑座3上设连接臂7,在气缸活塞端部与连接臂7上设杠杆4,杠杆4与连接臂7通过销轴6铰接,杠杆4的一端与气缸活塞端部通过销轴5连接。杠杆4的另一端上设缓冲压垫8,压紧箱体门时,缓冲压垫8有利于保护箱体表面,减少箱体表面磨损,保证压紧的稳当可靠。
本实用新型在对真空室箱体的箱体门9进行压紧时,控制按钮通过电磁阀操纵气缸,气缸活塞驱动杠杆4绕连接臂7转动,在气缸活塞的作用下缓冲压垫8实施对箱体门的压紧作业。由于是气动压紧,压紧速度和压紧力均可调节大小,本实用新型压紧力大,压紧可靠,省时省力。
本实用新型的气动压紧机构,可通用在各类大小尺寸的箱体上,只需通过增减变换气动压紧机构数量即可。具有加工成本低廉,通用性、适应性强的特点。
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