[实用新型]基于阿基米德螺旋线的亚波长圆偏振光检偏器有效
| 申请号： | 201520750825.5 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN205002882U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 王钦华;胡敬佩;赵效楠;李瑞彬;朱晓军;曹冰 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/42 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋;孙周强 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 阿基米德 螺旋线 波长 偏振光 检偏器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于阿基米德螺旋线的亚波长圆偏振光检偏器，其特征在于：所述基于阿基米德螺旋线的亚波长圆偏振光检偏器由结构单元阵列组成；所述结构单元包括基底与覆盖于基底上表面的金属层；所述基底由无机基片以及位于所述无机基片上表面的阿基米德螺旋线组成；所述阿基米德螺旋线的圈数为2～4，起始半径为0.05～0.2um，螺旋线间距为0.25～0.4um，螺旋线宽度为0.1～0.25um，螺旋线高度为0.08～0.14um；所述金属层厚度为0.035～0.08um；所述基于阿基米德螺旋线的亚波长圆偏振光检偏器中，每个结构单元的周期为2.0～3.2um。
2.根据权利要求1所述基于阿基米德螺旋线的亚波长圆偏振光检偏器，其特征在于：所述阿基米德螺旋线的圈数为3，起始半径为0.15um，螺旋线间距为0.3um，螺旋线宽度为0.2um，螺旋线高度为0.1um；所述金属层厚度为0.05um；所述基于阿基米德螺旋线的亚波长圆偏振光检偏器中，每个结构单元的周期为2.6um。
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