[实用新型]一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置

说明书

技术领域

本实用新型属于蓝宝石晶向测试技术领域，具体涉及一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置。

背景技术

在蓝宝石C向晶棒切片时，必须测试出蓝宝石晶棒的A面晶向，而传统的测试晶棒A面装置是利用V型块及其固定装置，在测试晶棒的A面晶向时，需要转动晶棒，固定的V型块操作不方便且V型块与晶棒之间会产生磨损，V型块的磨损会导致测试出的晶棒A面不标准，从而导致多线切割翘片等不良产生。同时因为人造蓝宝石的价格昂贵，如果因测试蓝宝石A面晶向不准确，会导致整根晶棒切割出的晶片TTV、WARP偏大，则此根晶棒切割出的所有晶片会严重影响后段加工，更严重会导致整根晶棒报废，损失严重。

发明内容

本实用新型的技术目的是：为了能够更精确的检测出蓝宝石晶棒A面晶向，本实用新型提供了一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，可以很准确的测试出蓝宝石晶棒的A面晶向，增加了蓝宝石晶棒的切割良率。

本实用新型采用如下技术方案实现：

一种测试蓝宝石晶棒晶向的定位装置，包括两个平行的滚筒3，所述滚筒3分别转动设置在滚筒固定盒2顶部，两个滚筒之间的最小距离不超过试验晶棒的截面直径，所述试验晶棒4放置在两个滚筒之间。

进一步的，所述滚筒固定盒2具有一个底座1，所述底座1定位固定在定位仪底板5上。

进一步的，底座1和定向仪底板5的对应位置分别设有定位孔和中心锥，所述底座1通过定位孔和中心锥导向定位在定向仪底板5上，并通过定位销和螺栓固定连接。

进一步的，所述滚筒3对称设置在定位孔和中心锥的中心两侧。

进一步的，所述试验晶棒4的中心轴线位置高于滚筒3的顶部，保证试验晶棒放置在滚筒上，晶棒的下半部与滚筒接触，上半部均位于滚筒上方，便于光线对晶棒进行衍射实验。

进一步的，所述试验晶棒4的一端部伸出滚筒固定盒2，可在实验过程中，对试验晶棒进行轴向移动调节。

在本实用新型中，所述滚筒3具有滚筒芯棒31，所述滚筒芯棒31转动装配在滚筒固定盒2上。

进一步的，滚筒3采用树脂滚筒。

本实用新型装配到晶向检测仪器上，滚筒固定盒的中心位置与定向仪底板的中心锥配合，以保证滚筒固定盒的中心与定向仪底板中心对齐，滚筒固定盒上的树脂滚筒芯棒固定位置平行设计在设备基准面中心锥的两侧，确保测试时晶棒的中心轴在X光测量线的中心位置，减少了因位置偏差而引起的测试误差；定向仪发射器发射出的X光线通过蓝宝石的原子晶面经过特定角度进行衍射，旋转树脂滚筒，使晶棒转动寻找到特定角度下X光线衍射的最大电流峰值，平行于滚筒固定盒的上平面绘制A面标示线，从而测试出蓝宝石晶棒的A面晶向，使用树脂滚筒能够细微的调节试验晶棒的A面反馈的电流峰值，并且能够防止晶棒的碰伤。

由上所述，本实用新型采用相对试验晶棒滚动的滚筒承托蓝宝石晶棒，避免相对摩擦对蓝宝石晶棒表面的磨损，其结构简单，操作简便，省力省时，并且多线切割切入面晶向偏差小，切割出晶片的TTV、WARP值小，很好的保证了多线切割的切片质量，避免原材料的浪费，实用性与可靠性很好，对于蓝宝石晶棒多线切割良率提升能够得到很大的改善。

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型的等轴立体示意图。

图2为本实用新型的分解示意图。

图3为本实用新型的俯视图。

图中标号：1-底座，11-定位孔，2-滚筒固定盒，3-滚筒，31-滚筒芯棒，4-试验晶棒，5-定向仪底板，51-中心锥，6-发射器，7-接收器。

具体实施方式

实施例

参见图1，图示中的定位装置用于辅助测试蓝宝石晶棒A面晶向，包括底座1、滚筒固定盒2以及两个滚筒3，滚筒3采用树脂材质，避免接触蓝宝石晶棒时造成划伤，两个滚筒平行布置，并分别转动设置在滚筒固定盒2的顶部，两个滚筒之间的最小距离不超过试验晶棒的截面直径，保证试验晶棒能够承托放置在两个滚筒之间。

结合参见图2，滚筒固定盒2固设底座1，滚筒固定盒通过底座1定位固定在定位仪底板5上，具体的，底座1和定向仪底板5的对应位置分别设有定位孔和中心锥，本实施例中，底座1上设有定位孔11，与定向仪5上设置的中心锥51套接，底座1首先通过定位孔和中心锥导向定位在定向仪底板5上，再通过定位销和螺栓找准方位并固定连接。滚筒固定盒2上的两个滚筒3应当对称设置在定位孔和中心锥的中心两侧，确保测试时晶棒的中心轴在X光测量线的中心位置，减少了因位置偏差而引起的测试误差。