[实用新型]MEMS声换能器以及电子设备

权利要求书

1.一种MEMS声换能器，其特征在于，包括：

检测结构，被配置为根据所检测的声信号生成电检测量，其中所述检测结构包括电容类型的第一微机械结构和电容类型的第二微机械结构，每个微机械结构均包括面向刚性电极且电容性地耦合至所述刚性电极的隔膜，所述微机械结构限定相应的第一检测电容器和第二检测电容器；以及

电子接口电路，操作性地耦合至所述检测结构并且被配置为根据所述电检测量生成电输出量，其中所述电子接口电路限定偏置线和参考线之间的所述第一检测电容器和所述第二检测电容器的串联的电连接，并且进一步包括第一单输出放大器和第二单输出放大器，所述第一单输出放大器和所述第二单输出放大器耦合至所述第一检测电容器和所述第二检测电容器中的相应检测电容器并具有相应的第一输出端和第二输出端，所述电输出量存在于所述第一输出端和所述第二输出端之间。

2.根据权利要求1所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述偏置线被设置为偏置电压，并且与所述第一检测电容器和所述第二检测电容器串联的所述电连接限定了公共节点；以及其中所述电子接口电路进一步包括偏置级，所述偏置级被配置为将所述公共节点偏置在公共电压，所述公共电压是所述偏置电压的分压。

3.根据权利要求2所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述公共电压等于所述偏置电压的一半。

4.根据权利要求3所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述偏置级连接在所述偏置线和所述参考线之间并具有连接至所述公共节点的输出端，在所述输出端上提供所述公共电压。

5.根据权利要求4所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述偏置级包括：电阻分压器，被配置为在所述公共节点上提供所述公共电压；以及去耦电容器，连接在所述公共节点和所述参考线之间。

6.根据权利要求5所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述第一微机械结构和所述第二微机械结构的隔膜电连接在一起并且连接至所述公共节点。

7.根据权利要求1所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述第一单输出放大器和所述第二单输出放大器具有单输出单端结构。

8.根据权利要求7所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述第一单输出放大器和所述第二单输出放大器具有缓冲器结构，并且相应的非反相输入端耦合至所述第一检测电容器和所述第二检测电容器中的相应检测电容器的节点且反相输入端连接至相应的第一输出端和第二输出端。

9.根据权利要求8所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述相应的非反相输入端通过相应的去耦电容器的插入连接至所述第一检测电容器和所述第二检测电容器中的相应检测电容器的终端。

10.根据权利要求1所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述第一微机械结构和所述第二微机械结构被集成在半导体材料的相同裸片中。

11.根据权利要求1所述的MEMS声换能器，其特征在于，电容类型的所述第一微机械结构和所述第二微机械结构具有匹配结构和尺寸。

12.根据权利要求1所述的MEMS声换能器，其特征在于，所述第一检测电容器经由第一电阻隔离元件连接至所述偏置线，所述第二检测电容器经由第二电阻隔离元件连接至所述参考线，并且所述第一单输出放大器和所述第二单输出放大器的相应非反相输入端通过相应的电阻隔离元件连接至设置为操作电压的线。