[实用新型]用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统

权利要求书

1.用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，包括供电模块、温度测试模块和计算机，其中温度测试模块采用红外热像仪以获得待测半导体激光器的腔面温度；其特征在于：该综合测试系统还包括分光组件、温度控制模块和多种光特性测试模块，所述温度控制模块用于调节待测半导体激光器的温度，所述多种光特性测试模块包括近场分布测试模块、远场分布测试模块、功率测试模块和光谱成像模块，分光组件将待测半导体激光器输出的光分出多路用以设置不同的光特性测试模块；计算机接收处理所述温度测试模块和多种光特性测试模块输出的测试数据，并建立有对温度测试模块、温度控制模块和多种光特性测试模块的控制连接。

2.根据根据权利要求1所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：分光组件将待测半导体激光器输出的光分出四路，一路对应于温度测试模块，一路对应于功率测试模块和光谱成像模块，一路对应于近场分布测试模块，一路对应于远场分布测试模块。

3.根据权利要求2所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：沿待测半导体激光器的输出光路，所述分光组件包括依次设置的红外滤波器、第一分光器和第二分光器；半导体激光器腔面热辐射产生的红外光经红外滤波器反射至红外热像仪，半导体激光器输出的激光透射红外滤波器，在第一分光器处一部分激光反射至积分球、经积分球引出至功率测试模块和光谱成像模块，另一部分激光透射至第二分光器，在第二分光器处再次分光，一部分激光反射至所述近场分布测试模块，另一部分激光透射至一衍射屏，衍射屏后方设置所述远场分布测试模块。

4.根据权利要求3所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：在所述红外滤波器与红外热像仪之间的光路上还设置有滤波片，该滤波片对红外光产生全透射作用，半导体激光器输出的激光具有反射作用，以防止经红外滤波器反射的部分光入射到红外热像仪后对其造成干扰。

5.根据权利要求4所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：在所述红外滤波器与滤波片之间的光路上还设置有前置镜头，该前置镜头对红外光产生全透射作用，调节该前置镜头的位置，能够实现对半导体激光器腔面放大。

6.根据权利要求3所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：在第一分光器与积分球之间设置有起汇聚作用的透镜。

7.根据权利要求3所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：所述近场分布测试模块采用CCD探测器，在该CCD探测器与第二分光器之间还设置有透镜，通过调节该透镜的焦距，能够对激光器腔面产生放大作用。

8.根据权利要求3所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：所述衍射屏采用毛玻璃制作。

9.根据权利要求1所述的用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统，其特征在于：所述温度控制模块对待测半导体激光器热传导传热。