[实用新型]一种用于直拉炉的水冷套装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及直拉炉的附属设备，尤其涉及一种用于直拉炉的水冷套装置。

背景技术

多年来，用于多晶硅转化成单晶硅生产过程中的直拉炉没有配套的水冷却装置，由于在高温环境下熔融状态的单晶硅的温度较高,不能加快提拉速度，以致影响产品生产效率。

发明内容

鉴于现有技术状况，本实用新型设计一种用于直拉炉的水冷套装置。通过使用水冷套装置，可快速降低熔融状态的单晶硅的温度,加快提拉速度，以达到单位时间内提高产量的目的。

本实用新型采取的技术方案是：一种用于直拉炉的水冷套装置，其特征在于：该水冷套装置分为上下两部分，包括上部法兰和下部水冷套，上部法兰和下部水冷套通过进水管和出水管焊接连接在一起；其中，上部法兰上设有法兰进水口、法兰出水口和螺栓孔，上部法兰通过螺栓孔与直拉炉体固定连接；下部水冷套包括水冷套外筒、水冷套内筒、水冷套上端座和水冷套下端座，水冷套上端座和水冷套下端座分别与水冷套外筒和水冷套内筒焊接，水冷套上端座上设有水冷套进水口和水冷套出水口，进水管和出水管的上端分别与法兰进水口和法兰出水口焊接，进水管和出水管的下端分别与水冷套进水口和水冷套出水口焊接，所述水冷套外筒和水冷套内筒之间设置有环形水道，该环形水道分别与水冷套进水口和水冷套出水口相连通。

本实用新型所产生的有益效果是：本装置结构由于在水冷套外筒和内筒之间设置有环形水道，既不影响水冷套内的水的流动，又避免了内套与外套的热变形问题。本装置与直拉炉通过法兰与直拉炉连接，拆装方便快捷，产品冷却效果好。由于提高了提拉速度，最终提高了产品的生产效率提高。

附图说明

图1为本装置的主视图；

图2为本装置的俯视图；

图3为图1中水冷套上端座的俯视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步说明：

参照图1至图3，用于直拉炉的水冷套装置分为上下两部分，包括上部法兰1和下部水冷套2，上部法兰1和下部水冷套2通过进水管3和出水管4焊接连接在一起；其中，上部法兰1上设有法兰进水口1-1、法兰出水口1-2和螺栓孔1-3，上部法兰1通过螺栓孔1-3与直拉炉体固定连接；下部水冷套2包括水冷套外筒2-1、水冷套内筒2-2、水冷套上端座2-3和水冷套下端座2-4，水冷套上端座2-3和水冷套下端座2-4分别与水冷套外筒2-1和水冷套内筒2-2焊接，水冷套上端座2-3上设有水冷套进水口2-5和水冷套出水口2-6，进水管3和出水管4的上端分别与法兰进水口1-1和法兰出水口1-2焊接，进水管3和出水管4的下端分别与水冷套进水口2-5和水冷套出水口2-6焊接，水冷套外筒2-1和水冷套内筒2-2之间设置有环形水道2-7，该环形水道2-7分别与水冷套进水口2-5和水冷套出水口2-6相连通。

水冷套装置的工作原理：本实用新型针对实际使用需求进行设计，冷却水通过法兰进水口1-1进入水冷套，并通过环形水道2-7在第一时间对单晶硅棒长轴进行循环冷却，水冷套可长期在真空、高温环境中正常工作，由于其冷却水可先直接到达产品最热部位进行冷却，使得产品冷却效果好，提拉速度提高。