[实用新型]一种石墨舟的推舟装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种石墨舟的推舟装置。

背景技术

等离子体化学气相沉积：在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法。等离子体增强化学气相沉积是：在化学气相沉积中，激发气体，使其产生低温等离子体，增强反应物质的化学活性，从而进行外延的一种方法。该方法可在较低温度下形成固体膜。例如在一个反应室内将基体材料置于阴极上，通入反应气体至较低气压(1～600Pa)，基体保持一定温度，以某种方式产生辉光放电，基体表面附近气体电离，反应气体得到活化，同时基体表面产生阴极溅射，从而提高了表面活性。在表面上不仅存在着通常的热化学反应，还存在着复杂的等离子体化学反应。沉积膜就是在这两种化学反应的共同作用下形成的。等离子气相化学沉积的工艺流程是一个循环过程，包括（1）装片；（2）进舟；（3）抽空；（4）恒温；（5）淀积；（6）抽空；（7）清洗；（8）充氮；（9）退舟；（10）卸片。

上述步骤（2）进舟是将装有硅片的石墨舟通过推舟机构送入反应炉管内，步骤（9）退舟是石墨舟送入反应炉管内后将推舟机构退回，推舟机构具有垂直和水平运动，水平运动主要包括水平运动模块，推舟和装载机构。石墨舟通过机械手放置与装载机构前段；装载机构后端安装在推舟上，前端处于悬空状态；推舟固定在水平运动模块的滑块上，通过电机驱动丝杠实现来回移动，完成进舟与退舟。然而，现有石墨舟装载机构类似于悬臂梁结构形式，刚性较差；承载石墨舟时，前端变形较大；并且在前进过程中，石墨舟存在抖动现象。石墨舟装载机构变形大，如果调节不当，前进时有可能发生撞舟；石墨舟抖动，会造成硅片与石墨舟接触不好，最终影响成膜质量。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、整体刚性好、推舟过程中无变形和抖动的石墨舟的推舟装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种石墨舟的推舟装置，包括装载机构、水平运动机构和推舟，所述推舟固定在所述水平运动机构的滑块上，所述装载机构后端固定于所述推舟上，前端悬空设置，所述石墨舟放置在所述装载机构的前端，所述装载机构前端与后端之间设有用于加强装载机构前端刚性的斜拉件。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述斜拉件设为两组，分设于所述装载机构的两侧。

所述斜拉件包括多个依次相连的拉杆单元，所述拉杆单元包括第一拉杆和第二拉杆，所述第一拉杆的尾部与第二拉杆的头部铰接，前一所述拉杆单元的第二拉杆的尾部与后一拉杆单元的第一拉杆的头部铰接，最前端的所述拉杆单元的第一拉杆的头部与装载机构前端连接，最后端的所述拉杆单元的第二拉杆的尾部与所述装载机构后端连接。

每个所述拉杆单元中，第二拉杆的两端设有U形槽，第一拉杆的尾部卡设于所述U形槽内并通过销轴连接，所述销轴上设有防止第一拉杆的尾部脱离所述U形槽的插销。

所述斜拉件为钢丝绳和铰链中的一种。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的石墨舟的推舟装置，通过在装载机构的两端设置斜拉件，提高装载机构的整体刚性，大大加强装载机构前端（悬臂端）刚性，减小了变形，同时改善了石墨舟在前进和后退过程中的抖动现象，在一定程度上避免了因石墨舟进舟过程中抖动而造成的硅片成膜质量差的问题。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的俯视图。

图3是本实用新型中装载机构的结构示意图。

图4是图3的俯视图。

图5是本实用新型中斜拉件的结构示意图。

图6是图5中A处放大图。

图7是本实用新型中第一拉杆的结构示意图。

图8是本实用新型中第二拉杆的结构示意图。

图9是本实用新型中固定块的结构示意图。

图中各标号表示：

1、装载机构；11、支承杆；12、安装座；121、固定块；122、腰型孔；2、水平运动机构；3、推舟；4、石墨舟；5、斜拉件；51、拉杆单元；511、第一拉杆；512、第二拉杆；6、U形槽；7、销轴；8、插销。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。