[实用新型]用于晶硅铸锭炉的石墨热场及晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种用于晶硅铸锭炉的石墨热场，所述石墨热场包括设置于晶硅铸锭炉内坩埚的外侧的石墨侧板，其特征在于：所述石墨侧板下侧设有开槽，所述石墨热场还包括填充于所述开槽内的多孔材料、通入开槽内的气体供应管路和设置于气体供应管路上的质量流量控制器。

2.根据权利要求1所述的用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其特征在于：所述多孔材料为多孔陶瓷材料。

3.根据权利要求1所述的用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其特征在于：所述开槽沿石墨侧板宽度方向延伸呈长型，并且在石墨侧板宽度方向上的两端距离石墨侧板边缘2-5cm，所述开槽沿上下方向的深度为10-15cm，沿石墨侧板厚度方向的宽度为1-2cm。

4.根据权利要求1所述的用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其特征在于：所述石墨热场还包括伸入所述开槽内以测量开槽区域温度的热电偶，所述质量流量控制器根据热电偶的测量温度调整通入开槽内的气体流量。

5.根据权利要求4所述的用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其特征在于：所述热电偶靠近石墨侧板相邻坩埚的内壁设置。

6.根据权利要求1所述的用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其特征在于：所述开槽向下开放设置，所述石墨热场还包括设置于坩埚底部的石墨底板，所述石墨底板上贯穿设置有与所述开槽相连通的入气孔，所述气体供应管路的供应气体通过所述入气孔进入开槽内。

7.根据权利要求6所述的用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其特征在于：所述石墨侧板在坩埚四周设置有四块，每块石墨侧板上均设置有所述开槽，并且在开槽内填充有所述多孔材料，所述石墨底板上对应四块石墨侧板设置有四个所述入气孔，所述入气孔分别沿石墨侧板宽度方向设置于中间位置处。

8.根据权利要求6所述的用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其特征在于：所述石墨底板下方还设置有定向凝固块，所述定向凝固块上设置有上下贯穿并与所述入气孔对应连通的通孔。

9.一种晶硅铸锭炉，包括设于炉内的坩埚和设置于坩埚周围的石墨热场，其特征在于：所述石墨热场如权利要求1至8中任意一项所述设置。