[实用新型]电路配线检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电气检测领域，特别涉及一种电路配线检测装置。

背景技术

TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶显示器)阵列基板制造需要经过复杂的工艺流程，阵列基板制作过程中会形成大量的配线，例如栅线、数据线等，这些平行配线容易出现开路、同膜层配线间短路、不同膜层的配线间短路等不良现象。为了提高产品的良率，需要在制造过程中对阵列基板上电路进行检测，找出阵列基板上不良的配线并进行维修。

现有检测过程需要先应用LDS(LineDetectSensor，线路探测传感器)依次对每根配线进行检测(通常是将LDS接在配线两端进行检测)，确定是否为不良的配线；在找出不良的配线后，再通过PDS(PositionDetectSensor，位置探测传感器)对存在不良的配线进行扫描，找出配线不良的具体位置。

具体地，现有的PDS主要由交流电压输入设备、输入端传感器、第一输出端传感器、第二输出端传感器及电压检测设备组成。下面以栅线为例，对PDS工作原理进行说明：当PDS工作时，将输入端传感器贴在待测栅线上，通过交流电压输入设备为输入端传感器提供交流电压，交流电压通过输入端传感器与该待测栅线形成的电容，传输到该待测栅线上；第一输出端传感器同样贴在该待测栅线上，且与输入端传感器间隔设置，如果第一输出端传感器和输入端传感器间隔之间的待测栅线连通，那么第一输出传感器是可以检测到电压的，因此，当电压检测设备没有检测到第一输出端传感器存在电压时，说明该待测栅线在输入端传感器和第一输出端传感器间存在开路；而第二输出端传感器是按照数据线方向设置的，当第二输出端传感器贴在一数据线上，且电压检测设备检测到第二输出端传感器存在电压时，说明该数据线中存在电压，确定该待测栅线与数据线短路(不同膜层的配线间短路)。

但是，现有的PDS对只能检测配线开路和不同膜层的配线间短路，无法检测到同膜层配线间短路。

实用新型内容

为了解决现有技术的问题，本实用新型实施例提供了一种电路配线检测装置。所述技术方案如下：

本实用新型实施例提供了一种电路配线检测装置，所述装置包括：

交流电压输入设备；

输入端传感器，与所述交流电压输入设备相连；

第一输出端传感器，所述第一输出端传感器与所述输入端传感器间隔设置，且所述第一输出端传感器与所述输入端传感器设置在同一直线上；

第二输出端传感器，所述第二输出端传感器设置在所述第一输出传感器上，且所述第二输出端传感器与所述第一输出端传感器相互垂直；

第三输出端传感器，所述第三输出端传感器与所述输入端传感器间隔设置，且所述第三输出端传感器与所述输入端传感器平行；

电压检测设备，分别与所述第一输出端传感器、所述第二输出端传感器和所述第三输出端传感器电连接。

在本实用新型实施例的一种实现方式中，所述电路配线检测装置还包括设置在所述第三输出端传感器和所述电压检测设备之间的电压表。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述电压表的量程为10V。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述输入端传感器和所述第一输出端传感器的间距为40-60um。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述输入端传感器和所述第三输出端传感器的距离为8-12um。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述输入端传感器、所述第一输出端传感器、所述第二输出端传感器和所述第三输出端传感器均为电参量式传感器。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述交流电压输入设备为变压器。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述变压器的输出电压为300V。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述电压检测设备包括三个模数转换器，以及与所述三个模数转换器连接的处理单元，所述三个模数转换器还分别与所述第一输出端传感器、所述第二输出端传感器和所述第三输出端传感器电连接。

在本实用新型实施例的另一种实现方式中，所述电路配线检测装置还包括固定板，所述交流电压输入设备、所述输入端传感器、所述第一输出端传感器、所述第二输出端传感器、所述第三输出端传感器和所述电压检测设备均固定在所述固定板上。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：