[实用新型]可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置

权利要求书

1.一种可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：包括抛光工具体（1）、磨盘（4）、柔性铰链磨头（6）以及可带动抛光工具体进行超声振动的超声波振动装置；该磨盘（4）可旋转地安装在该抛光工具体（1）上，其上设有若干孔（41），所述的柔性铰链磨头（6）通过柔性铰链安装在该孔内。

2.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的磨盘（4）通过轴承（2）安装在所述抛光工具体（1）的轴承孔内，并通过固定在该抛光工具体上的轴承端盖（9）定位该轴承（2）。

3.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的磨盘（4）通过一电机（13）带动旋转。

4.根据权利要求3所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的磨盘（4）上设有磨盘轴（6），所述电机（13）的轴与该磨头轴连接。

5.根据权利要求3或4所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的电机（13）固定在一支撑板（10）上，该支撑板则与所述的抛光工具体（1）连接。

6.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的磨盘（4）及柔性铰链磨头（5）的磨削面设置在抛光垫（22）。

7.根据权利要求6所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的抛光垫（22）通过热熔胶分别粘贴于所述磨盘（4）和柔性铰链磨头（5）上。

8.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的超声波振动装置包括压电陶瓷（14）、超声波发生器（15）、换能器（16）以及变幅杆（17）；该压电陶瓷（14）安装于抛光工具体（1）的一侧侧板上，与抛光工具体紧密贴着；该超声波发生器（15）通过信号线连接到换能器（16）上，换能器再与变幅杆（17）连接，最后变幅杆（17）通过信号线连接于压电陶瓷（14）上。

9.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：进一步设置有冷却液管（21），该冷却液管的管口朝向磨盘（4）；所述磨盘（4）上方设置有环状的磨盘盖板（3），该磨盘盖板与磨盘紧密配合。

10.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：进一步设置有连接结构，该连接结构为固定在所述抛光工具体（1）一侧侧板的连接板（19），该侧板与连接板之间设置有缓冲片（18）。