[实用新型]一种高浓度臭氧发生装置

权利要求书

1.一种高浓度臭氧发生装置，包括进气单元(200)、臭氧发生器单元(100)、冷却单元(300)和臭氧出气单元(400)，进气单元(200)包括管路(207)、阀门、流量计(205)和过滤器(203)，阀门包括球阀(201)、减压阀(202)、电动阀(204)和单向阀(206)，进气单元(200)设有两条管路(207)，一条氧气管路和另一条氮气/二氧化碳管路，每条管路(207)上从左到右顺次均设有球阀(201)、减压阀(202)、过滤器(203)、电动阀(204)、流量计(205)和单向阀(206)，且电动阀(204)与控制系统电路连接；臭氧出气单元(400)包括臭氧出气单元管路(405)、臭氧浓度检测仪(401)、球阀(402)、电控阀(403)和单向阀(404)，臭氧出气单元管路(405)上从左到右顺次设有臭氧浓度检测仪(401)、球阀(402)、电控阀(403)，单向阀(404)，且臭氧浓度检测仪(401)和电控阀(403)均与控制系统电路连接；其特征在于：所述臭氧发生器单元(100)包括进气部分、臭氧生产部分和臭氧冷却部分，其中，臭氧生产部分包括上腔板(101)、下腔板(102)、绝缘护板(103)、中间阳极板(104)、密封条(105)和间隙隔片(106)，上腔板(101)、下腔板(102)与中间阳极板(104)之间均设有绝缘护板(103)、密封条(105)和间隙隔片(106)，且均设有微间隙，在上腔板(101)和下腔板(102)上均设有负电极(109)，中间阳极板(104)上设有正电极(108)，在上腔板(101)、下腔板(102)外侧设有冷却水管(110)，臭氧生产部分与射频电源(E)电路连接，在臭氧生产部分的前端设有进气部分，进气部分包括前端板(122)、进气芯(121)和密封进气板(123)，前端板(122)上设有进气芯(121)，中间设有进气孔；臭氧冷却部分包括上冷却板(131)、下冷却板(132)、中间密封板(133)和S形臭氧出气通道(135)，上冷却板(131)和下冷却板(132)的外侧设有冷却水管(110)。

2.如权利要求1所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：所述冷却单元(300)包括球阀(301)、压力表(302)、过滤器(303)、电动阀门(304)、流量计(305)、流量开关(306)、水温检测(307)和水路(308)，冷却单元(300)设有两水路，一路为正常冷却水路(A)，另一路为应急冷却水路(B)，两水路上顺次均设有球阀(301)、压力表(302)、过滤器(303)、电动阀门(304)、流量计(305)、流量开关(306)、水温检测(307)、电动阀门(304)和球阀(301)，且共用流量计(305)、流量开关(306)和水温检测(307)，电动阀门(304)和流量开关(306)均与控制系统电路连接。

3.如权利要求1或2所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：所述中间阳极板(104)采用钛板制成并进行抛光处理，在上腔板(101)与中间阳极板(104)和下腔板(102)与中间阳极板(104)之间相应所述微间缝的通气面上均设有一层Al₂O₃，再经研磨后得到的表面。

4.如权利要求1或2所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：所述密封进气板(123)上设有进气管(1231)、进气微孔(1232)、进气芯安装孔(1233)和安装孔(1234)。

5.如权利要求3所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：所述密封进气板(123)上设有进气管(1231)、进气微孔(1232)、进气芯安装孔(1233)和安装孔(1234)。

6.如权利要求1或2所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：在所述臭氧发生器单元(100)的臭氧冷却部分的前端，设有温度检测装置(134)。

7.如权利要求3所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：在所述臭氧发生器单元(100)的臭氧冷却部分的前端，设有温度检测装置(134)。

8.如权利要求4所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：在所述臭氧发生器单元(100)的臭氧冷却部分的前端，设有温度检测装置(134)。

9.如权利要求1或2所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：所述冷却水管(110)均为冷却铜管。

10.如权利要求3所述的高浓度臭氧发生装置，其特征在于：所述冷却水管均(110)为冷却铜管。