[实用新型]一种硅片传送矫正装置有效

专利信息
申请号: 201520773126.2 申请日: 2015-09-30
公开(公告)号: CN205023432U 公开(公告)日: 2016-02-10
发明(设计)人: 赵小雄;赵钊;武涛;张华灿 申请(专利权)人: 北京太阳能电力研究院有限公司
主分类号: B65G47/24 分类号: B65G47/24
代理公司: 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 代理人: 覃莉
地址: 101100 北京市通州区中关村*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 传送 矫正 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片传送矫正装置,包括硅片夹持组件和皮带支撑模块(5),其特征在于,所述硅片夹持组件包括定位电机支撑底板(1),所述定位电机支撑底板(1)一端固定有定位电机(2),所述定位电机(2)通过联轴器(3)连接有固定于所述定位电机支撑底板(1)上的丝杠(6),所述丝杠(6)上的两侧对称串接有两个与所述定位电机(2)之间驱动连接的皮带支撑模块(5);所述皮带支撑模块(5)包括皮带驱动电机支撑底座(8),所述皮带驱动电机支撑底座(8)上设有皮带驱动电机(9),所述皮带驱动电机(9)的输出端设有皮带驱动轮(10),其中,所述皮带驱动电机支撑底座(8)上以丝杠(6)轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮(12)和第二惰轮(11),并且,所述第一惰轮(12)和第二惰轮(11)之间还设有导向惰轮(13),所述皮带驱动轮(10)与所述第一惰轮(12)、第二惰轮(11)和导向惰轮(13)之间通过皮带(15)驱动连接。

2.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置,其特征在于,所述丝杠(6)通过设置在其两端的轴承(4)支撑固定于所述定位电机支撑底板(1)上。

3.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置,其特征在于,所述第一惰轮(12)和所述导向惰轮(13)的中心点连线与硅片(7)前进方向的夹角呈5度,所述第二惰轮(11)和所述导向惰轮(13)的中心点连线与硅片(7)的前进方向平行。

4.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置,其特征在于,所述皮带支撑模块(5)上还设有两个张紧轮(14),其中两个所述张紧轮(14)分别设置于所述皮带驱动轮(10)与第一惰轮(12)和第二惰轮(11)的中心点连线之间。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京太阳能电力研究院有限公司,未经北京太阳能电力研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520773126.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top