[实用新型]一种硅片传送矫正装置

权利要求书

1.一种硅片传送矫正装置，包括硅片夹持组件和皮带支撑模块（5），其特征在于，所述硅片夹持组件包括定位电机支撑底板（1），所述定位电机支撑底板（1）一端固定有定位电机（2），所述定位电机（2）通过联轴器（3）连接有固定于所述定位电机支撑底板（1）上的丝杠（6），所述丝杠（6）上的两侧对称串接有两个与所述定位电机（2）之间驱动连接的皮带支撑模块（5）；所述皮带支撑模块（5）包括皮带驱动电机支撑底座（8），所述皮带驱动电机支撑底座（8）上设有皮带驱动电机（9），所述皮带驱动电机（9）的输出端设有皮带驱动轮（10），其中，所述皮带驱动电机支撑底座（8）上以丝杠（6）轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮（12）和第二惰轮（11），并且，所述第一惰轮（12）和第二惰轮（11）之间还设有导向惰轮（13），所述皮带驱动轮（10）与所述第一惰轮（12）、第二惰轮（11）和导向惰轮（13）之间通过皮带（15）驱动连接。

2.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置，其特征在于，所述丝杠（6）通过设置在其两端的轴承（4）支撑固定于所述定位电机支撑底板（1）上。

3.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置，其特征在于，所述第一惰轮（12）和所述导向惰轮（13）的中心点连线与硅片（7）前进方向的夹角呈5度，所述第二惰轮（11）和所述导向惰轮（13）的中心点连线与硅片（7）的前进方向平行。

4.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置，其特征在于，所述皮带支撑模块（5）上还设有两个张紧轮（14），其中两个所述张紧轮（14）分别设置于所述皮带驱动轮（10）与第一惰轮（12）和第二惰轮（11）的中心点连线之间。