[实用新型]一种硅片传送矫正装置有效
申请号: | 201520773126.2 | 申请日: | 2015-09-30 |
公开(公告)号: | CN205023432U | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 赵小雄;赵钊;武涛;张华灿 | 申请(专利权)人: | 北京太阳能电力研究院有限公司 |
主分类号: | B65G47/24 | 分类号: | B65G47/24 |
代理公司: | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人: | 覃莉 |
地址: | 101100 北京市通州区中关村*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 传送 矫正 装置 | ||
1.一种硅片传送矫正装置,包括硅片夹持组件和皮带支撑模块(5),其特征在于,所述硅片夹持组件包括定位电机支撑底板(1),所述定位电机支撑底板(1)一端固定有定位电机(2),所述定位电机(2)通过联轴器(3)连接有固定于所述定位电机支撑底板(1)上的丝杠(6),所述丝杠(6)上的两侧对称串接有两个与所述定位电机(2)之间驱动连接的皮带支撑模块(5);所述皮带支撑模块(5)包括皮带驱动电机支撑底座(8),所述皮带驱动电机支撑底座(8)上设有皮带驱动电机(9),所述皮带驱动电机(9)的输出端设有皮带驱动轮(10),其中,所述皮带驱动电机支撑底座(8)上以丝杠(6)轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮(12)和第二惰轮(11),并且,所述第一惰轮(12)和第二惰轮(11)之间还设有导向惰轮(13),所述皮带驱动轮(10)与所述第一惰轮(12)、第二惰轮(11)和导向惰轮(13)之间通过皮带(15)驱动连接。
2.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置,其特征在于,所述丝杠(6)通过设置在其两端的轴承(4)支撑固定于所述定位电机支撑底板(1)上。
3.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置,其特征在于,所述第一惰轮(12)和所述导向惰轮(13)的中心点连线与硅片(7)前进方向的夹角呈5度,所述第二惰轮(11)和所述导向惰轮(13)的中心点连线与硅片(7)的前进方向平行。
4.根据权利要求1所述的硅片传送矫正装置,其特征在于,所述皮带支撑模块(5)上还设有两个张紧轮(14),其中两个所述张紧轮(14)分别设置于所述皮带驱动轮(10)与第一惰轮(12)和第二惰轮(11)的中心点连线之间。
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