[实用新型]一种微纳电极

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电极，具体涉及一种底部带螺旋状的微纳电极。

背景技术

微纳电极在传感器领域有着广泛的应用，一般用于敏感材料的电信号测量。比较常见的电极形式为叉指电极，这种电极能在有限的空间体积内提供尽可能多的传感电信号通道，提高测量灵敏度。

现有的叉指电极结构用于力学传感器（如应变传感器）测量时，其结构特征导致在电极在平面内平行于叉指方向和垂直于叉指方向的灵敏度会有很大不同。某些应用条件下，会产生测量误差。

实用新型内容

实用新型目的：为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种螺旋状的微纳电极，用于力学传感器测量时，基本不存在方向性问题，每个方向的测量灵敏度都能保持一致。

技术方案：一种微纳电极，包括绝缘衬底和电极对，所述电极对设置在所述绝缘衬底上，所述电极对为镜像对称的一对平面螺旋状金属，这一对平面螺旋状金属的螺旋交错分布。

进一步的，绝缘衬底为柔性材料。

进一步的，柔性材料为聚二甲基硅氧烷或聚对苯二甲酸乙二醇酯。

进一步的，电极为金或银材质。

进一步的，电极的线宽尺寸为纳米或微米量级。

有益效果：本实用新型提供的一种微纳电极，通过改变电极的内部结构，将通常的叉指状改为螺旋状，当用于力学传感器测量时，螺旋状的微纳电极能够保持每个测量方向的灵敏度一致，提高了测量灵敏度，避免了测量误差，使用更加方便。

附图说明

图1为本实用新型的电极结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步的详细说明。

如图1所示，一种微纳电极，包括绝缘衬底1和电极2，电极2设置在绝缘衬底1内，电极2为螺旋状。

绝缘衬底1为柔性材料，例如聚二甲基硅氧烷PDMS或聚对苯二甲酸乙二醇酯PET；电极2为导电性良好的金属，例如银或金；电极2的线宽尺寸为纳米或微米量级，一般用光刻或者掩模蒸发的方法制备。镜像对称的一对平面螺旋状金属，这一对平面螺旋状金属的螺旋交错分布。如可以是太极图形的一圈左右螺旋形分布，也可以是如图的多圈螺旋分布。

用作传感器基底时，可将敏感材料覆于电极2与绝缘衬底1之间的衬底表面，例如将Ag纳米粒子沉积于此微纳电极2的表面。当绝缘衬底1在任意方向收到拉伸或弯曲形变时，电极之间的间距变化量相同。因此，每个方向的测量灵敏度都能够保持一致，避免了测量误差，使用更加方便。

最后应当说明的是:以上实施例仅用于说明本申请的技术方案而非对其保护范围的限制,本实用新型所述技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更改和润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。