[实用新型]一种新型免维护高效靶材机构

权利要求书

1.一种新型免维护高效靶材机构，其特征在于：包括靶材、阳极组件及阴极电极；所述靶材的外侧固定有保护圈，其中心位置处安装有靶材组件；所述靶材组件的外侧套接有贯穿件，其底部连接有冷水供应装置；所述保护圈的左侧设置有双电刷；所述电刷的底部连接有背板；所述背板的上方，且位于电刷的另一侧安装有磁体，其下方，且位于所述磁体的一侧连接有旋转马达；所述靶材组件与旋转马达间安装有传动机构；所述传动机构由安装于旋转马达上的主传动带轮，及套接于靶材组件上的从传动带轮，及连接主传动带轮和从传动带轮的传动轴构成；所述阳极组件设置于靶材的上方；所述阴极电极安装于背板下方；所述背板的两端安装有联接法兰。

2.根据权利要求1所述的新型免维护高效靶材机构，其特征在于：所述保护圈为氮化硼保护圈；所述靶材呈环状结构。

3.根据权利要求1所述的新型免维护高效靶材机构，其特征在于：所述冷水供应装置与靶材组件的连接处的内侧安装有冷水管。

4.根据权利要求1所述的新型免维护高效靶材机构，其特征在于：所述贯穿件为真空旋转贯穿件，且其安装于背板下方。

5.根据权利要求1所述的新型免维护高效靶材机构，其特征在于：所述阳极组件的内侧为中空结构，形成一腔体；所述腔体内安装有可控线圈。

6.根据权利要求1所述的新型免维护高效靶材机构，其特征在于：所述靶材套接在阳极组件的腔体内，且所述阳极组件的底部与背板的顶部贴合。

7.根据权利要求1所述的新型免维护高效靶材机构，其特征在于：所述保护圈和靶材组件通过螺纹连接与靶材固定。

8.根据权利要求1所述的新型免维护高效靶材机构，其特征在于：所述磁体由新型的永久磁铁组成。